http://ir-heat-ltd.com/ko/tags/%EC%A0%95%EB%B0%80%EB%8F%84/ Recent content in 정밀도 on Infrared Heat Limited Hugo ko Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼용 고정밀 IR 센서"></p> <p>왜 무연 칩 제조에 적외선 경화 방식을 사용하는가?<br> 반도체 산업은 이제 더 이상 구식의 대류식 오븐을 사용하지 않고 있습니다. 우리 대부분은 적외선 경화 방식으로 전환하고 있습니다. 이는 단순히 ‘친환경적이거나 무연’이라는 규칙을 따르기 위함만은 아닙니다. 그보다는 열이 실제로 어떻게 작용하는지와 관련이 있습니다.</p> http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/high-precision-temperature-heater/ Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="고정밀 온도 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서 90°C의 온도로 부드럽게 가열하는 것은 단순히 설정값에 불과한 것이 아닙니다. 이는 형태를 유지할 수 있는 포토레지스트와 폐기될 웨이퍼 사이의 경계선과 같습니다.<br> 칩 홀더의 온도가 0.5°C만 변해도 CD의 균일성이 저하되고, 선의 굵기 제어도 정상 범위를 벗어나게 됩니다. 이 산업에서 온도란 단순한 열의 문제가 아니라, 반복적으로 일정한 범위 내에 유지되어야 하는 중요한 공정 변수입니다.<br> 핵심은 바로 여기에 있습니다.<br> 우리는 고정밀 히터를 사용하여 웨이퍼의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지합니다. 이를 통해 일관된 접착력과 에칭 선택성을 확보할 수 있습니다. 이 하드웨어는 클린룸 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되었으며, 온도 변화로 인한 문제가 발생하지 않도록 만들어졌습니다.<br> 또한, 빠르게 반응하는 단파 적외선 소자를 사용하여 가열 과정을 철저히 제어합니다. 그 결과, 고온 구역이 분리되어 챔버가 가스나 오염물질로부터 보호됩니다.<br> 생산 과정에서 이러한 정밀도 덕분에 문제가 줄어들고, 낭비도 줄어듭니다. 사이클 타임도 예측 가능해집니다. 부드러운 가열, 강력한 가열, 그리고 가열 후 처리 과정도 안정적으로 이루어져, 노드가 점점 작아지는 상황에서도 문제가 없습니다. 그 결과, 실제 수율이 향상되고 재작업도 크게 줄어듭니다.<br> 에너지 사용량도 줄어듭니다. 왜냐하면 효율적인 가열 방식과 과열을 최소화하는 설계 덕분입니다. 이 시스템은 24/7 가동이 가능하므로, 계획되지 않은 정지 시간도 거의 없습니다.<br> 사전에 고려해야 할 몇 가지 사항이 있습니다.<br> 이러한 히터들은 잘 통합될 수 있지만, 명시된 균일성을 달성하기 위해서는 안정적인 전원 공급과 적절한 열 용량을 가진 칩 홀더가 필요합니다. PID 설정을 조정하기 위해 짧은 시간 동안 테스트를 진행해야 하며, EMI가 민감한 측정 구역에 영향을 주지 않도록 접지와 차폐를 철저히 확인해야 합니다.<br> 일단 정렬이 제대로 되면, 공정이 원활하게 진행되고, 온도 변화로 인한 문제도 없어집니다.</p>