http://ir-heat-ltd.com/ko/tags/%EC%BA%90%EB%85%BC/ Recent content in 캐논 on Infrared Heat Limited Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/ko/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="캐논 리소그래피 히터 전구"></p> <p>팹에서의 소프트 베이크는 단순한 “온도 상승 과정”이 아닙니다. 이는 선폭 제어를 위한 중요한 조건입니다. 온도를 0.5°C만 변경해도 드로즈 윈도우가 변합니다. 웨이퍼 표면의 특정 부분에 열이 집중되면, 그 부분에 결함이 생겨 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 있습니다. 캐논의 리소그래피용 히터는 이러한 열적 조건을 일정하게 유지하여, 한 번의 작업에서 다음 작업으로 넘어갈 때도 안정적인 성능을 유지하도록 설계되었습니다.</p>