Pengauditan tenaga untuk proses pengeringan di kilang

Sun, 12 Jul 2026 09:26:19 +0800

Mengapa kilang-kilang pengeluar semikonduktor beralih daripada menggunakan ketuhar biasa kepada sistem pemanasan inframerah?

Sejujurnya, ketuhar konveksi merupakan cara yang tidak efisien. Kebanyakan kilang masih menggunakan sistem pemanasan jenis ini, di mana udara di dalam bilik dipanaskan sepenuhnya hanya untuk mengeringkan sekeping wafer kecil. Proses ini sangat lambat dan membuang masa. Sebenarnya, ia sama saja seperti cuba mengeringkan sehelai stokin dengan memanaskan seluruh rumah.

Sistem pemanasan inframerah pula berfungsi secara berbeza. Daripada memanaskan udara, ia menghantar sinaran elektromagnetik terus ke permukaan wafer tersebut.

Pemanas sistem pengeringan wafer industri

Sun, 31 May 2026 04:37:23 +0800

Wafer keluar dari bilasan akhir dan jam mula berdetik. Jika kitaran pengeringan tergendala, anda mengambil risiko dengan kesan air, keruntuhan corak, dan kecacatan photoresist yang tidak akan muncul sehingga beberapa jam kemudian—selepas pendedahan dan pembakaran—pada masa itu hasil sudah hilang. Dalam fab berkapasiti tinggi, pengeringan bukan langkah pasif. Ia adalah acara terma terkawal, dan pemanas di dalam modul pengeringan yang menentukan sama ada proses itu boleh diulang atau hanya berdasarkan harapan.

Kami membina pemanas sistem pengeringan wafer industri untuk realiti bilik bersih Kelas 1–100: keseragaman terma yang ketat, sifar penghasilan zarah, dan ketersediaan 24/7 tanpa ruang untuk peralihan. Sama ada aplikasi menggunakan pengeringan putar, Marangoni, atau pengeringan dibantu wap IPA, pemanas mesti memberikan suhu stabil dalam had terma wafer dan kimia lapisan photoresist.

Pengeringan on Infrared Heat Limited

Pengauditan tenaga untuk proses pengeringan di kilang

Pemanas sistem pengeringan wafer industri