Fabriekslamp voor microfluidische apparaten

Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800

Op het oppervlak van de wafer geven de microfluidische kanalen geen ruimte voor afwijkingen in het profiel van de fotoresist. Zelfs een kleine afwijking kan al leiden tot veranderingen in de breedte van de lijnen. Bij een te hoge temperatuur kunnen er residuen blijven hangen die later de microkanalen kunnen blokkeren. Er is dus behoefte aan een lamp die de thermische parameters als echte procesparameters behandelt, en niet als schattingen.

Dit is wat belangrijk is bij het gebruik van deze lampen. We hebben deze microfluidische productielampen ontworpen met SWIR-halogeenemitters in een kwartsomhulsel. Hierdoor wordt er een snelle reactie bereikt en blijft het spectrale signaal stabiel, dag na dag. De uniformiteit op het niveau van de wafer blijft op ±0,1°C binnen de bake-zone, zodat de controle van de cruciale dimensies consistent blijft. Het systeem is geschikt voor gebruik in zuiverruimtes van klasse 1–100, zonder dat er particules vrijkomen. Er wordt gebruik gemaakt van gekalibreerde thermokoppels voor de bediening van het systeem. Er is ook een bibliotheek met recepten beschikbaar voor zowel zachte als harde bake-stappen.

Microfluidica on Infrared Heat Limited

Fabriekslamp voor microfluidische apparaten