Middengolf infraroodverwarmer voor wafer

Thu, 25 Jun 2026 04:25:24 +0800

Op een lijn van 300 mm is een verschil van 0,5°C in de baktemperatuur al voldoende om de kritieke dimensies te beïnvloeden. Bovendien kan een plotselinge stijging in temperatuur ervoor zorgen dat een hele lading producten onbruikbaar wordt. Middengolf-IR-verwarmingssystemen verminderen deze thermische onzekerheid tijdens de zachte en harde bakprocessen – processen waarbij het gedrag van de fotoreductor wordt bepaald en waarbij herhalbaarheid het enige acceptabele criterium is.

Wat er echt toe doet Middengolf-IR-systemen leveren energie snel en efficiënt af op de wafer, met minimale afwijkingen. We houden de uniformiteit van de temperatuur op het niveau van ±0,1°C gedurende het gehele proces. Hierdoor blijven alle bakprocessen binnen de gewenste temperatuurbereik, zonder dat er afwijkingen optreden. De vereisten voor een cleanroom van klasse 1–100 zijn belangrijk: materialen die weinig gassen afgeven, goed afgesloten interfaces en een verwarmingssysteem dat geen deeltjes produceert tijdens het gebruik. Hierdoor blijven de parameters van de fotoreductor stabiel, zodat het systeem deze parameters elke keer opnieuw kan herhalen.

Middelgroot on Infrared Heat Limited

Middengolf infraroodverwarmer voor wafer