Precisie IR sensor voor wafer

Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800

Waarom we overstappen op IR-gelasting voor leidvrije chips
De halfgeleiderindustrie maakt eindelijk een stap weg van die ouderwetse convectiekookovens. De meesten van ons overstappen op IR-gelasting. Het gaat niet alleen om het naleven van de nieuwe ‘milieuvriendelijke’ of leidvrije regels – hoewel dat natuurlijk een belangrijk aspect is. Het gaat ook om de manier waarop de warmte wordt toegepast.

In plaats van hete lucht door een ruimte te blazen, maakt IR gebruik van elektromagnetische straling. Hierdoor raakt de warmte rechtstreeks het doelwit, zonder dat er met de lucht wordt geknoeid.

Hogeprecisietemperatuurverwarmer

Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800

Op de litografiefaciliteit is die soft-bake op 90°C geen gewone instelling op het paneel. Het is eerder een grenslijn: hier begint het gebied waarin het fotorezistentprofiel zijn vorm behoudt, en hier eindigt het gebied waarin de wafer wordt weggegooid.

Een afwijking van 0,5°C al is genoeg om de uniformiteit van de wafer te verstoren en de controle over de lijndikte te beïnvloeden. In deze branche is temperatuur niet zomaar ‘warmte’ – het is een procesvariabele die binnen strikte grenzen moet blijven, lote na lote.

Precisie on Infrared Heat Limited

Precisie IR sensor voor wafer

Hogeprecisietemperatuurverwarmer