Lâmpada para fabricação de dispositivos microfluídicos

Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800

No chão da placa de silício, os canais microfluídicos não permitem que haja variações no perfil do fotorresistente. Mesmo uma pequena variação de temperatura pode fazer com que as larguras das linhas mudem. Se a temperatura não for controlada corretamente, surgem resíduos que podem obstruir os microcanais posteriormente. É necessário usar uma lâmpada que trate o fator térmico como um parâmetro real do processo, e não como algo aleatório.

O que realmente importa é a capacidade da lâmpada de manter uma temperatura precisa durante todo o processo de fabricação. Construímos essas lâmpadas com emissores de luz SWIR dentro de invólucros de quartzo. Isso permite uma resposta rápida e uma saída espectral estável, dia após dia. A uniformidade na temperatura na área de tratamento fica entre ±0,1°C, o que permite um controle preciso das dimensões críticas da placa de silício. O sistema foi projetado para operar em ambientes limpos de classe 1–100, sem geração de partículas, com monitoramento em tempo real. O controle em circuito fechado utiliza termopares calibrados, permitindo assim a criação de procedimentos repetíveis para ambos os tipos de tratamento.

Dispositivo on Infrared Heat Limited

Lâmpada para fabricação de dispositivos microfluídicos