Sensor de temperatura para ferramentas de wafer

Wed, 22 Jul 2026 04:32:51 +0800

Pare de deixar que os elementos de aquecimento estraguem suas waferes.
Se você trabalha em uma sala limpa de classe 100, certamente já conhece esse problema. Uma única partícula microscópica pode acabar com a qualidade das waferes.
O problema geralmente está nos elementos de aquecimento. A maioria das lâmpadas convencionais libera gases ou partículas pequenas exatamente no momento em que é necessário que elas estejam completamente limpas. Decidimos resolver isso usando quartzo sintético de alta pureza para nossas lâmpadas IR.

Aquecedor de temperatura de alta precisão

Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800

Na etapa de litografia, esse processo de aquecimento suave a 90°C não é apenas uma configuração no painel de controle. É o ponto de separação entre um perfil de fotoresist que mantém sua forma e um wafer que acaba indo para o lixo.

Uma variação de 0,5°C no controle de temperatura já é suficiente para comprometer a uniformidade do wafer e fazer com que o controle da espessura das linhas fique fora dos parâmetros desejados. Nesse setor, a temperatura não é apenas algo relacionado ao calor – ela é uma variável de processo que precisa ser mantida dentro de limites precisos, lotes após lotes.

Temperatura on Infrared Heat Limited

Sensor de temperatura para ferramentas de wafer

Aquecedor de temperatura de alta precisão