Дистрибьютор запчастей для производства Fab

Sat, 27 Jun 2026 04:32:12 +0800

На производственном участке допускается отклонение температуры при обработке фоторезиста на 2°C. В таком случае процесс литографии становится более сложным. Неравномерность температуры во время мягкой обработки приводит к изменению ширины линий на пластине. Нестабильность температуры во время жесткой обработки приводит к появлению недостатков на поверхности пластины и к плохой адгезии материалов. В итоге получаются бракованные пластины и неplanовые простои оборудования во время попыток обеспечения термической стабильности.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы разработали специальные устройства для контроля температуры на уровне полупроводниковых процессов: точность контроля температуры составляет ±0,1°C, устройства совместимы с чистыми помещениями класса 1–100, при этом не возникает никаких частиц. Инфракрасные элементы коротких и средних длин волн обеспечивают быстрое и точное регулирование температуры, что позволяет фоторезисту сохранять один и тот же профиль температуры при каждой процедуре обработки. Система работает круглосуточно без перерывов, а температурный профиль остается стабильным даже при смене процессов обработки.

Дистрибьютор on Infrared Heat Limited

Дистрибьютор запчастей для производства Fab