Печь для чистых помещений с инфракрасным нагревателем

Thu, 09 Jul 2026 05:30:26 +0800

Введение
При работе с полупроводниковыми пластинами нельзя штопорить процедуры. Контроль загрязнений и точное регулирование температуры — это не просто желательные факторы, а абсолютная необходимость.
Вот в чем заключается главный вопрос: как обеспечить преобразование всей поступающей энергии в полезное тепло именно там, где это необходимо?
Ответ кроется в нашем высокоэффективном золотом покрытии. Это „сердце“ всей системы: оно снижает потери энергии и сохраняет стабильную температуру в условиях чистой комнаты.

Как сосредоточить тепло
Печь в чистой комнате должна выделять интенсивное тепло, при этом не создавая лишних проблем — без лишнего тепла и свободно парящих частиц.
Мы спроектировали систему так, чтобы энергия сосредотачивалась именно на пластине. Вся инфракрасная радиация направляется прямо на пластину. Это имеет два преимущества: во-первых, уменьшается размер нагревательного элемента; во-вторых, температура в камере остается стабильной. Это значит, что системы кондиционирования и фильтры не подвергаются постоянной нагрузке.
Это простая физика: когда луч сосредоточен, меньше энергии теряется в окружающую среду. Для вас это означает более быстрое достижение нужной температуры и стабильные результаты при каждой партии производства.

Нагревательный элемент полупроводниковой печи

Tue, 02 Jun 2026 05:52:25 +0800

На производственном участке выпекание фоторезиста — это не просто «шаг нагрева». Это контроль размеров, и только.

Сдвиньте температуру мягкого или твердого выпекания всего на 2°C — и вы выйдете за целевой CD. Линия останавливается. Поэтому мы разработали нагревательный элемент печи так, чтобы поддерживать технологическую температуру с той степенью точности, которую требует производство.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем коротковолновое ИК-излучение в кварцевом корпусе, поскольку оно быстро реагирует и обеспечивает чистую теплопередачу. По загруженной пластине однородность составляет ±0.1°C, а повторяемость от прогона к прогону сохраняется в тех же пределах.
Конструкция совместима с чистыми помещениями класса 1–100. Мы минимизируем выделение газов и полностью исключаем генерацию частиц во время выпекания. Подача мощности стабильна, поэтому профили разгона и выдержки остаются точными — что удерживает тепловой бюджет в пределах литографического окна.

Духовка on Infrared Heat Limited

Печь для чистых помещений с инфракрасным нагревателем

Нагревательный элемент полупроводниковой печи