Перестаньте нагревать стенки оборудования – начните нагревать сами пластины. Вы когда-нибудь трогали поверхность оборудования и чувствовали исходящее...

На производственном участке допускается отклонение температуры при обработке фоторезиста на 2°C. В таком случае процесс литографии становится более...