Сушка on Infrared Heat Limited

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Fri, 17 Jul 2026 06:08:03 +0800

Как высушить пластины с МЭМС-датчиками без проблем
При высыхании пластин с МЭМС-датчиками необходимо добиться точного баланса. Нужно достаточное количество тепла для выполнения задачи, но оно должно распределяться равномерно по всей поверхности пластины. Если останется хотя бы небольшое количество влаги, или если тепло будет распределяться неравномерно, это может привести к образованию трещин на мембране датчика. Это настоящий кошмар, которого никто не хочет.

Поэтому мы создаем нагреватели, способные обеспечить такую точность. Мы стараемся как можно быстрее поднять температуру и сохранять её на постоянном уровне на всей поверхности пластины.

Энергетический аудит сушильных установок

Sun, 12 Jul 2026 09:26:18 +0800

Почему производства полупроводников отказываются от традиционных печей в пользу инфракрасного обжига
Честно говоря, конвекционные печи — это просто бесполезное устройство. Большинство производств до сих пор используют такие огромные системы подачи воздуха, которые нужны для нагрева всего помещения лишь для того, чтобы высушить одну-единственную пластинку. Это медленно и неэффективно. По сути, это как пытаться высушить одну носку, нагревая всю комнату.

Инфракрасный обжиг меняет ситуацию. Вместо нагрева воздуха излучение направляется прямо на саму поверхность пластинки.

Вот как это работает на самом деле:
Длина волны излучения выбирается в соответствии с типом фоторезиста или клея, который используется. Благодаря использованию коротковолновых или средневолновых излучателей тепло достигает цели мгновенно. Не нужно ждать, пока нагреется весь объем помещения.

Нагреватель промышленной системы сушки пластин

Sun, 31 May 2026 04:37:23 +0800

Пластина выходит из финального ополаскивания, и часы начинают отсчет. Если цикл сушки задерживается, вы рискуете появлением водяных пятен, коллапсом рисунка и дефектами фоторезиста, которые проявятся только через несколько часов — после экспозиции и запекания — к тому времени выход годных уже снижен. В крупносерийном производстве сушка не является пассивным этапом. Это контролируемый тепловой процесс, и именно нагреватель внутри модуля сушки определяет, будет ли процесс воспроизводимым или лишь случайным успехом.

Мы разработали нагреватель для промышленной системы сушки пластин с учетом требований чистых помещений классов 1–100: строгой тепловой однородности, отсутствия генерации частиц и круглосуточной работы без смещений параметров. Независимо от того, используется ли центробежная сушка, метод Марангони или сушка с помощью пара изопропилового спирта (IPA), нагреватель должен обеспечивать стабильную температуру в рамках теплового бюджета самой пластины и химии фоторезистного слоя.