Точный инфракрасный датчик для пластин

Mon, 20 Jul 2026 11:10:01 +0800

Почему мы переходим на использование инфракрасного излучения для обработки чипов без свинца
В мире полупроводников наконец-то происходит отказ от старых методов обработки с использованием конвекционных печей. Большинство производителей переходит на использование инфракрасного излучения. Это связано не только с необходимостью соблюдения новых экологических стандартов и правил, касающихся использования материалов без свинца – хотя это тоже важно. Дело в самом принципе действия инфракрасного излучения.

Вместо нагрева воздуха в помещении, инфракрасное излучение использует электромагнитные волны. Оно не влияет на воздух, а напрямую воздействует на объект обработки.

Нагреватель высокой точности

Wed, 17 Jun 2026 15:22:04 +0800

На этапе литографии процедура мягкой обработки при температуре 90°C – это не просто настройка на панели управления. Это критически важный параметр, который определяет, сохранится ли форма фотополимерного слоя или же пластина окажется в мусорке.

Небольшое изменение температуры в 0,5°C может привести к нарушению однородности поверхности пластины и сделать невозможным контроль ширины линий. В этой отрасли температура – это не просто фактор тепла; это параметр, который должен оставаться в установленных пределах на протяжении всего процесса производства.

Мы используем высокоточные нагреватели, которые обеспечивают однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Такой уровень точности позволяет поддерживать стабильные условия для процесса нанесения слоев и эчинга. Оборудование разрабатывается для использования в чистых комнатах класса 1–100; оно также спроектировано таким образом, чтобы изменения температуры не приводили к появлению частиц.

Точность on Infrared Heat Limited

Точный инфракрасный датчик для пластин

Нагреватель высокой точности