http://ir-heat-ltd.com/tr/tags/mikroak%C4%B1%C5%9Fkanl%C4%B1k/ Recent content in Mikroakışkanlık on Infrared Heat Limited Hugo tr Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/tr/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 04:46:25 +0800 http://ir-heat-ltd.com/tr/posts/microfluidic-device-fabrication-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Mikroakışkan cihaz üretimi lambası"></p> <p>Wafer yüzeyinde, mikroakışkan kanallar, fotoresist profilinde herhangi bir kayma olmasına izin vermez. Yumuşak pişirme işleminde bile sadece bir derecelik bir kayma meydana gelebilir ve bu da çizgi genişliklerinin değişmesine neden olur. Sert pişirme işleminde ise hatalar ortaya çıkar ve bu hatalar ileride mikrokanalları tıkayabilir. Bu yüzden termal parametreleri gerçek bir süreç parametresi olarak ele alan bir lambaya ihtiyaç vardır.</p> <p>İşte önemli olan noktalar:</p> <p>Bu mikroakışkan üretim lambalarını, kuvars kapsül içindeki SWIR halojen yayıcıları kullanarak tasarladık. Bunun sonucunda hızlı tepki süresi ve günler boyunca stabil spektral çıkış elde ediliyor. Pişirme bölgesinde wafer seviyesindeki düzenlilik ±0,1°C civarında kalıyor; böylece kritik boyut kontrolü her seferinde tekrarlanabiliyor. Sistem, sıfır parçacık üretimiyle Class 1–100 temiz oda koşullarında çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve yerinde izleme özelliğine sahiptir. Kapalı döngü kontrolü için kalibre edilmiş termokupllar <a href="https://henruite.com">kullan</a>ılır ve hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri için tekrarlanabilir bir reçete kütüphanesi sağlanır.</p>