http://ir-heat-ltd.com/tr/tags/pi%C5%9Fir/ Recent content in Pişir on Infrared Heat Limited Hugo tr Wed, 01 Jul 2026 12:20:00 +0800 http://ir-heat-ltd.com/tr/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:20:00 +0800 http://ir-heat-ltd.com/tr/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Polimid pişirme kızılötesi lambası"></p> <p>Litografi bölümünde, poliimidin pişirilmesi işlemi, ince metal çizgilerin boyutlarının belirlenmesinde kritik bir rol oynar. Wafer üzerindeki 5°C’lik bir sıcaklık değişimi bile, çizgilerin boyutlarını nanometreler düzeyinde değiştirebilir; bu da çizgilerin bozulmasına neden olabilir. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için poliimid pişirme işlemi için özel kızılötesi lambalar geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar:</strong><br> Poliimidin emilimine uygun şekilde ayarlanmış kısa dalga boylu kızılötesi ışık kaynakları kullanıyoruz. Termal tepki hızlıdır; saniyenin altında bir sürede gerçekleşir ve waferin sıcaklık değerleri ±0,1°C aralığında sabit tutulur. Lamba gövdesi, düşük gaz salınımı sağlayan malzemelerden yapılmıştır ve parçacık oluşumunu engelleyecek şekilde tasarlanmıştır; böylece kusur sayısı minimumda kalır.</p>