Зменшення викидів вуглецю на заводі з виробництва напівпровідників: чому використання ІЧ-ламп без озону є доцільним
Якщо ви прагнете до досягнення нейтралітету щодо викидів вуглецю на заводі з виробництва напівпровідників, необхідно звернути увагу на ті фактори, які призводять до марної витрати енергії. Одним із основних причин є спосіб нагрівання обладнання.
Більшість ламп короткохвильового ІЧ-спектру мають ту проблему, що випромінюють хвилі довжиною менше 200 нм. Це призводить до перетворення кисню в повітрі на озон. У чистих приміщеннях озон є справжньою проблемою – це забруднювач. Тож доводиться витрачати значну кількість енергії на системи вентиляції та очищення повітря, щоб усунути наслідки дії цих ламп.
Це цикл марної витрати енергії. Ми знайшли кращий спосіб.
Секрет полягає у фільтрі.
Ми використовуємо спеціалізовані кварцові оболонки та внутрішні покриття для блокування випромінювання у діапазоні вакуумного ультрафіолету. Це дозволяє отримати необхідне тепло без утворення озону.
Це просте рішення, але його ефект значний. Системи фільтрації повітря не повинні працювати так интенсивно. Коли система відведення повітря не потребує великої кількості енергії, загальний викид вуглецю на заводі зменшується.
Швидке нагрівання, без додаткових витрат.
Не потрібно жертвувати швидкістю нагрівання. Ці лампи все одно забезпечують необхідний рівень тепла для швидкого нагрівання, що є необхідним для обробки напівпровідникових пластин. Крім того, вони можуть замінити існуючі лампи, тож не потрібно перебудовувати існуючі системи нагрівання.
Однак слід пам’ятати про щільність потоку тепла. Ці лампи швидко концентрують тепло. Якщо корпус обладнання не розрахований на такі умови, це може призвести до пошкодження обладнання. Обов’язково переконайтеся, що вентилятори розраховані на конкретну потужність ламп перед їх включенням.
Робимо „зелений“ виробництво реальністю.
Коли ви переходите на технології без озону, вам більше не потрібно постійно контролювати рівень озону та використовувати спеціалізовані системи вентиляції. Це дозволяє зменшити витрати енергії та зробити процес виробництва більш ефективним.
Отримання сертифікату „Зеленого заводу“ зазвичай пов’язане з великою кількістю формальностей та дрібних коректив. Але тут все інакше. Йдеться про запобігання витратам енергії з самого початку, а не про її витрату на усунення проблем, яких можна було уникнути.