Tại sao chúng ta sử dụng bộ phản xạ được phủ vàng để sấy khô bằng tia hồng ngoại?
Trong quy trình sản xuất wafer, việc lãng phí năng lượng chẳng khác nào lãng phí tiền bạc. Khi sử dụng máy sấy bằng tia hồng ngoại, mục tiêu không chỉ là tăng cường độ nhiệt, mà còn là đảm bảo rằng nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào wafer, chứ không bị hấp thụ bởi thân máy.
Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng bộ phản xạ được phủ vàng.
Nguyên lý hoạt động khá đơn giản: Hầu hết mọi người thường sử dụng bộ phản xạ bằng nhôm, nhưng chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng hồng ngoại. Trong khi đó, vàng lại có khả năng phản xạ tia hồng ngoại như gương, giúp truyền nhiệt trực tiếp về phía wafer. Nhờ vậy, bạn có thể sấy khô wafer một cách hiệu quả mà không cần tăng cường công suất máy.
Ngoài ra, yếu tố độ chính xác cũng rất quan trọng. Dù bạn có sử dụng bộ điều khiển số hiện đại nhất, nhưng nếu lớp phủ trên bộ phản xạ kém chất lượng, việc truyền nhiệt sẽ không hiệu quả. Bộ phản xạ bằng vàng giúp loại bỏ những “vùng lạnh” gây cản trở quá trình sấy khô. Nhờ đó, bề mặt wafer sẽ được sấy đều. Nếu không có sự tập trung nhiệt này, wafer sẽ bị sấy không đều, thậm chí bị biến dạng do nhiệt.
Tuy nhiên, đây không phải là giải pháp hoàn hảo. Vàng tuy tốt, nhưng lại đòi hỏi việc bảo dưỡng kỹ lưỡng. Nó rất nhạy cảm với các chất bẩn. Nếu có khí hữu cơ hoặc chất hóa học trong buồng chân không, lớp vàng sẽ bắt đầu bị tổn hại. Bạn cần tuân thủ các quy trình vệ sinh nghiêm ngặt để giữ cho lớp phản xạ luôn ở trạng thái tốt nhất.
Một điều cuối cần lưu ý: khi kết hợp bộ phản xạ bằng vàng với bộ điều khiển chính xác, thời gian khởi động máy sẽ được rút ngắn đáng kể. Bạn sẽ sử dụng ít năng lượng hơn mỗi lần sấy, điều này rất tốt.
Nhưng hãy chú ý đến các quạt làm mát. Vì bạn tập trung nhiều bức xạ cao cường vào wafer, nên phần vỏ máy xung quanh có thể bị nóng lên. Nếu không thông gió đúng cách, các cảm biến của máy sẽ bị hư hại.