Đèn hồng ngoại dùng để sấy polyimide

Wed, 01 Jul 2026 12:20:00 +0800

Trong quy trình in phủ, bước sấy polyimide chính là lúc mà kích thước của các đường dây kim loại được xác định cuối cùng. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 5°C trên bề mặt wafer, kích thước của các đường dây này có thể thay đổi vài nanomet – con số đủ lớn để khiến các đường dây này bị sai lệch. Chúng tôi đã thiết kế những chiếc đèn hồng ngoại dành cho việc sấy polyimide, nhằm loại bỏ yếu tố gây biến đổi kích thước này.

Polyimide on Infrared Heat Limited

Đèn hồng ngoại dùng để sấy polyimide