http://ir-heat-ltd.com/zh/tags/%E4%BD%B3%E8%83%BD/ Recent content in 佳能 on Infrared Heat Limited Hugo zh Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/zh/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Thu, 18 Jun 2026 04:01:51 +0800 http://ir-heat-ltd.com/zh/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="佳能平版印刷用加热灯管"></p> <p>在光刻车间里，所谓的“软烘烤”其实并不是某种“预热过程”，而是一种用于控制线宽的参数。如果温度偏差达到0.5°C，那么曝光量也会随之改变。晶圆上的热点可能会导致缺陷的产生，而这些缺陷在后续的蚀刻过程中依然会存在。佳能的光刻加热器设计的目的就是确保温度始终处于稳定状态，从而保证每一轮曝光的质量。</p>