http://ir-heat-ltd.com/zh/tags/%E5%85%89%E9%98%BB%E5%89%82/ Recent content in 光阻剂 on Infrared Heat Limited Hugo zh Fri, 26 Jun 2026 04:39:43 +0800 http://ir-heat-ltd.com/zh/posts/photoresist-baking-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 04:39:43 +0800 http://ir-heat-ltd.com/zh/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-ltd.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="光刻胶烘烤灯"></p> <p>在光刻工艺中，光阻处理过程中的温度控制是至关重要的因素，这种控制是无法妥协的。如果软烘烤时的温度出现偏差，那么溶剂的蒸发也会受到影响；而硬烘烤时若出现局部过热现象，<a href="https://henruite.com">就会导致关</a>键尺寸发生变形。这两种情况都会影响产品的良率以及加工时间。因此，我们设计的光阻烘烤灯能够确保从软烘烤到硬烘烤的整个过程中，<a href="https://o-yate.net">整个晶圆上</a>的温度始终处于可控范围内。</p>