V procesu litografie je tepelný profil při zpracování fotorezistu jednou z těch věcí, s nimiž prostě nelze jednat. Pokud dojde k odchylkám během měkkého vypalování, dochází k nekontrolovanému odpařování rozpouštědel. Při silném vypalování vznikají „horká místa“, což způsobuje deformaci kritických rozměrů. To ovlivňuje jak výtěžnost, tak i dobu vypalování. Naše lampy na vypalování fotorezistu jsou navrženy tak, aby tento tepelný profil zůstal konstantní – od měkkého až po silné vypalování – na celé ploše čipu.
Co je důležité uvnitř Kombinujeme halogenové nebo NIR zdroje světla s křemíkovou optikou a řízením v uzavřené smyčce, abychom dosáhli rovnoměrnosti na úrovni čipu v rozsahu ±0,1 °C. Výsledkem jsou opakovatelné profily vypalování, které udržují tloušťku fotorezistu a kritické rozměry konstantní v každé várce. Kompatibilita s prostředím třídy 1–100 je součástí návrhu: materiály s nízkou emisí plynů a kontrolovaný tok vzduchu zabránily kontaminaci procesu.
Nulová produkce částic není jen sloganem – jde o integritu filtrů a průtok vzduchu v komoře, které zajišťují konstantní hodnoty i při nepřetržitém provozu 24/7.
Zde je důvod, proč tento systém funguje v průmyslové výrobě. Chcete stabilitu, ne úpravy. Tyto lampy poskytují stabilní výkon po dobu více než 5 000 hodin s minimálními odchylkami, takže se snižuje doba neplánovaného výpadku a zkracuje se doba cyklu. Efektivní zdroje světla a rychlá reakce na změny teploty snižují spotřebu energie, aniž by došlo ke ztrátě přesnosti vypalování.
Ať už používáte měkké vypalování k nastavení viskozity fotorezistu před expozicí, nebo silné vypalování k ustálení vzoru před leptáním, stejná platforma lamp umožňuje konzistentní výsledky – napříč jednotlivými čipy a různými zařízeními.
Několik praktických poznámek: Instalace je specifická pro každé zařízení. Správné spojení lampy s komorou, konektorem a systémem řízení teploty vyžaduje projití krátkého seznamu kontrol s vaším týmem. Lampy fungují nejlépe, pokud je reflexe komory a chlazení v souladu s parametry – pokud na těchto aspektech ušetříte, snížíte tak úroveň rovnoměrnosti.
Poskytujeme podrobnosti o rozhraních a postupech nastavení již na začátku, aby první várka byla schválena bez nutnosti oprav.