V procesu litografie je zahřívání polyimidu tím krokem, který určuje konečné rozměry tenkých kovových linek. Pokles teploty o 5 °C na povrchu čipu může způsobit posun kritických rozměrů o několik nanometrů – což stačí k narušení pravidelnosti tvaru linek. My jsme navrhli infračervené lampy určené k zahřívání polyimidu, aby se tato variabilita eliminovala.
Co je z hlediska technologie důležité
Používáme infračervené emitory s krátkou vlnovou délkou, které jsou naladěny na absorpci světla polyimidem. Termální reakce je rychlá – během několika sekund – a my udržujeme jednotnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Tělo lampy je vhodné pro použití v čistých prostorách tříd 1–100, protože používá materiály s nízkou emisí plynů a konstrukci, která neumožňuje vznik částic. Díky tomu zůstává počet defektů na stejné úrovni.
Procesy měkkého a tvrdého zahřívání fotoresistu se opakují den za dnem s přesností v řádu několika stupňů. Stabilita výstupních hodnot zůstává v rozmezí 2 % po dobu více než 5 000 hodin. Díky uzavřenému řízení zůstává teplotní rozsah pevně kontrolován.
Proč to funguje v výrobních provozech
V provozech s vysokou kapacitou musí být proces zahřívání polyimidu prováděn v úzkém teplotním rozsahu. Tyto lampy rychle dosahují požadované teploty, zkracují dobu zahřívání a snižují spotřebu energie o 25–35 % ve srovnání s konvenčními nástroji. Díky tomu lze dosáhnout rychlejších cyklů bez ztráty kontroly nad profilem. Kromě toho dochází k menšímu počtu problémů spojených s zahříváním, což eliminuje potřebu oprav.
Systém se integruje do stávajících zařízení a pomáhá udržet celkovou logiku procesu zachovanou, zatímco zvyšuje tepelnou přesnost.
Praktické detaily
Instalace spočívá v přizpůsobení lampy geometrii držáku čipu a emisivitě zadní strany čipu. Pokud to uděláte špatně, objeví se gradienty teplot na okrajích čipu. Lampa také funguje nejlépe s čistými, suchými nosiči a pod kontrolou obsahu rozpouštědel.
Očekávejte krátké období kalibrace potřebné k nastavení hustoty energie a doby zahřívání pro konkrétní složení polyimidu. Jakmile je to nastaveno, dochází k velmi přesnému procesu – ale tento proces lze opakovat.