Kohlenstoffemissionen in der Halbleiterfabrik reduzieren: Warum Ozonfreie Infrarotlampen sinnvoll sind
Wenn man in einer Halbleiterfabrik die Kohlenstoffneutralität erreichen will, muss man sich auf die Faktoren konzentrieren, die im Hintergrund Energie verschwenden. Einer der größten Probleme ist dabei die Art und Weise, wie wir Dinge erwärmen.
Die meisten Kurzwellen-Infrarotlampen haben die Eigenschaft, Wellenlängen unter 200 nm auszusenden. Dadurch wird das Sauerstoffgas in der Luft in Ozon umgewandelt. In einer Reinraumumgebung ist Ozon ein Albtraum – es handelt sich dabei um einen Schadstoff. Man muss also viel Energie für Lüftungs- und Reinigungsanlagen aufwenden, nur um den Schaden zu beseitigen, den die Lampen verursacht haben.
Das ist ein Teufelskreis aus unnötiger Energieverwendung. Wir haben eine bessere Lösung gefunden.
Der Trick liegt im Filter.
Wir verwenden spezielle Quarzkapseln sowie innere Beschichtungen, um das Vakuum-Ultraviolett-Spektrum abzuschirmen. Dadurch entstehen keine Ozonpartikel mehr – doch die Lampe liefert weiterhin genügend Wärme.
Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch die Auswirkungen sind enorm. Die Luftfilteranlagen müssen nicht mehr so hart arbeiten. Wenn das Abgasystem weniger Energie verbraucht, verringert sich auch der CO2-Fußabdruck der Fabrik.
Schnelle Erwärmung – ohne Nachteile.
Man muss hier nicht auf Geschwindigkeit verzichten. Diese Lampen liefern weiterhin die notwendige Wärme für schnelles Erhitzen – was für das Trocknen von Wafern unerlässlich ist. Zudem können sie direkt als Ersatz für bestehende Lampen verwendet werden – man muss daher die vorhandenen Öfen nicht neu aufbauen.
Achtung: Achten Sie auf die Leistsdichte dieser Lampen. Sie erzeugen schnell hohe Temperaturen. Wenn das Gehäuse nicht dafür ausgelegt ist, kann es beschädigt werden. Überprüfen Sie daher unbedingt, ob die Kühlfans für die jeweilige Leistungsklasse geeignet sind, bevor Sie die Lampe einschalten.
„Grüne“ Technologien werden endlich praktikabel.
Mit ozonfreien Technologien muss man sich nicht mehr mit umfangreichen Überwachungssystemen oder spezieller Belüftung beschäftigen. Dadurch wird die physische Struktur der Heizanlagen vereinfacht – und die gesamte Prozedur wird effizienter.
Die Zertifizierung als „grüne Fabrik“ scheint oft eine Menge Papierkram und kleiner Anpassungen zu erfordern. Doch hier ist das anders: Es geht darum, den Energieverbrauch von Anfang an zu senken, anstatt Energie in das Beheben von Problemen zu investieren, die gar nicht entstanden wären.