Im Bereich der Lithografie ist die Trocknung des Polyimids entscheidend für die Genauigkeit der Abmessungen der feinen Metalllinien. Eine Temperaturänderung von 5°C auf der Waferoberfläche kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen um Nanometer verändert werden – das reicht aus, um die Formation der Linien zu stören. Wir haben daher Infrarotlampen entwickelt, die diese Schwankungen ausgleichen.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler, die auf die Absorption durch Polyimid abgestimmt sind. Die thermische Reaktion erfolgt schnell – innerhalb von Sekundenbruchteilen – und wir halten die Homogenität der Waferoberfläche bei ±0,1°C. Der Lampenkörper ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet; er besteht aus Materialien mit geringer Gasemission und ist so konstruiert, dass keine Partikel entstehen können. Dadurch bleibt die Anzahl der Defekte niedrig.
Die Profile der Weich- und Harttrocknung wiederholen sich Tag für Tag mit einer Genauigkeit von einigen Grad. Die Ausgangsgenauigkeit bleibt über 5.000 Stunden hinweg bei 2%, und dank der Schleifensteuerung bleibt das thermische Verhalten genau kontrolliert.
Warum es in Produktionsstätten funktioniert:
In großen Produktionsstätten muss die Trocknung des Polyimids innerhalb eng definer thermischer Grenzen stattfinden. Diese Lampen erreichen schnell die gewünschte Temperatur, verkürzen die Trocknungszeit und reduzieren den Energieverbrauch um 25–35% im Vergleich zu Konvektionsverfahren. So lassen sich schnellere Prozesszyklen erreichen, ohne dass die Kontrolle über die Prozesse beeinträchtigt wird. Zudem treten weniger Fehler auf, die eine Nachbearbeitung erforderlich machen.
Das System passt sich den vorhandenen Anlagen an und behält dabei die Logik der Prozesse bei – während gleichzeitig eine hohe thermische Präzision erreicht wird.
Praktische Details:
Die Installation erfolgt dadurch, dass die Lampe der Geometrie des Chucks sowie der Emissivität der Rückseite der Wafer angepasst wird. Wenn das nicht richtig gemacht wird, entstehen Randgradienten. Die Lampe funktioniert außerdem am besten bei sauberen, trockenen Trägern sowie unter kontrollierten Bedingungen bezüglich der verwendeteten Lösungsmittel.
Es wird eine kurzeEinführungszeit benötigt, um die Leistungsdichte und die Trocknungszeit für Ihre spezielle Polyimidformulierung einzustellen. Sobald das eingestellt ist, bleibt der Prozessbereich eng begrenzt – doch er ist reproduzierbar.