در فرآیند بستهبندی ICهای ۲.۵D/۳D، هیچ فضایی برای کنترل تغییرات دمایی وجود ندارد. یک نقطه گرم در حین فرآیندهای مربوط به لحیمکاری قطعات، میتواند تمام تلاشهای انجام شده در طول ماهها را بیفایده کند. ما یک سیستم گرمایشی برای بستهبندی ICهای ۲.۵D/۳D طراحی کردهایم تا این مشکلات را از بین ببرد.
آنچه اهمیت دارد: در منطقه فعال، یکنواختی دمایی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، تکرارپذیری مقدار دما نیز بالا است. عناصر گرمایشی موج کوتاه، پاسخ سریع و دقیقی ارائه میدهند؛ در حالی که منطقه گرمایشی جداشده از کوارتز، تولید ذرات را کاهش میدهد. این سیستم با اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ سطوح و مهرهای مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که تعداد ذرات در طول فرآیندهای گرمایشی کم بماند. کنترل این سیستم به صورت بسته و قابل ردیابی است؛ همچنین، این سیستم برای فرآیندهای گرمایشی مختلف مناسب است.
چرا این سیستم در تولید موفق عمل میکند: در سراسر ویفر و دستگاههای مختلف، الگوهای گرمایشی یکنواختی وجود دارد؛ این امر منجر به کاهش نقصها و زمانهای پیشبینیپذیری در فرآیندهای تولید میشود. سیستم گرمایشی به سرعت گرم میشود و دمای آن ثابت میماند؛ بنابراین، مصرف انرژی کاهش مییابد. قابلیت اطمینان این سیستم، به دلیل عملکرد ۲۴/۷ آن است؛ قطعات مورد استفاده نیز برای کار در دماهای بالا مناسب هستند؛ همچنین، تعمیرات نیز بر اساس برنامههای زمانی انجام میشود، نه به صورت ناگهانی.
در مورد یکپارچهسازی: سیستم گرمایشی به راحتی میتواند در سیستم ادغام شود؛ اما نیاز به منبع تغذیه مناسب و اتصالات سرمایشی/گازی مناسب دارد. اتصالات نامناسب یا لولههای کوچک، عملکرد سیستم را محدود میکنند. باید از قبل طراحی مکانیکی سیستم را انجام داد؛ فاصله حرارتی با قطعات مجاور باید کافی باشد، و جریان هوا نیز باید بدون مانع باشد تا یکنواختی دمایی حفظ شود. پس از یکپارچهسازی، سیستم مانند یک پارامتر ثابت عمل میکند، نه یک متغیر قابل کنترل.