چرا از استفاده از هوای گرم به استفاده از امواج مادون قرمز برای خشک کردن نیمههادیها روی آوردیم؟
اگر هنوز از هوای گرم برای خشک کردن نیمههادیها استفاده میکنید، در واقع در حال انتظار هستید تا فرآیند خشک شدن به پایان برسد.
فکر کنید که چطور کار میکند: باید کل محفظه را گرم کنید، یعنی هر اینچ مکعب از هوا را. این کار زمانبر و پیچیده است.
اما امواج مادون قرمز کاملاً متفاوت هستند؛ آنها به جای گرم کردن هوا، انرژی را مستقیماً به سطح قطعات میفرستند. این کار سریع انجام میشود و دیگر نیازی به انتظار برای گرم شدن محفظه نیست.
حذف مشکلات ناشی از گرمای بیش از حد
همه ما دیدهایم که آب در مرحله شستشو، روی ویفرها و قطعات باقی میماند و باعث کندی فرآیند میشود. وقتی از هوای گرم استفاده میکنیم، زمان لازم برای خشک شدن قطعات بسیار طولانی میشود؛ این موضوع باعث ایجاد مشکلات زیادی میشود.
به همین دلیل از لامپهای مادون قرمز ضدآب استفاده میکنیم؛ این لامپها میتوانند انرژی را مستقیماً به سطح قطعات بفرستند. این کار سریع انجام میشود و چرخههای خشک کردن کوتاهتر میشود. در نتیجه، مرحله خشک کردن دیگر مشکلی ایجاد نمیکند.
مشکلات مربوط به رطوبت
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز معمولی از رطوبت متنفرند؛ در محیطهای پر از رطوبت، این لامپها به سرعت از کار میافتند.
برای حل این مشکل، از کپسولهای کوارتزی و درزبندهای ضدآب استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود که بخارات از الکترودها دور بمانند و لامپها از کار نیفتند.
اما باید مراقب تنظیمات لامپها باشید؛ اگر توان لامپها را بالا ببرید اما سرعت حرکت قطعات را کم نگه دارید، قطعات دچار گرمای بیش از حد خواهند شد. مهم این است که تعادل مناسبی بین توان لامپها و سرعت حرکت قطعات برقرار کنید.
مزایا و معایب
مزیت این روش این است که فضای مورد نیاز برای نصب لامپها کاهش مییابد؛ میتوانید بلافاصله لامپها را نصب کنید.
اما باید به یاد داشته باشید که امواج مادون قرمز فقط میتوانند از راه مستقیم به سطح قطعات برسند؛ اگر قطعات شکل عجیبی داشته باشند، نقاط سردی در سطح قطعات ایجاد خواهد شد. نمیتوانید فقط لامپها را نصب کنید و امیدوار باشید که همه چیز خوب پیش برود؛ باید زاویه لامپها را به درستی تنظیم کنید تا هر قطره آب از بین برود.