در فرآیند لیتوگرافی، فرآیند حرارتدهی پلیایمید نقش مهمی در تعیین ابعاد خطوط فلزی بسیار ریز دارد. تغییر دما به میزان ۵ درجه سانتیگراد میتواند باعث تغییر ابعاد خطوط فلزی شود؛ این تغییرات میتوانند منجر به اختلال در کارکرد خطوط فلزی شوند. ما لامپهای مادونقرمزی را طوری طراحی کردهایم که بتوانند این نوسانات را کاهش دهند.
جنبههای فنی مهم
ما از فرستندههای مادونقرمز کوتاهامواج استفاده میکنیم؛ این فرستندهها برای جذب نور توسط پلیایمید مناسب هستند. پاسخ حرارتی این لامپها بسیار سریع است؛ زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کمتر از یک ثانیه است. همچنین، یکنواختی دمایی روی ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. بدنه لامپها نیز مناسب استفاده در اتاقهای پاکسازی با سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ زیرا از موادی با انتشار گاز کم استفاده شده و طراحی آن نیز به گونهای است که امکان ورود ذرات به داخل لامپ وجود نداشته باشد؛ بنابراین تعداد نقصها کم میماند.
فرآیندهای حرارتدهی نرم و سخت نیز در محدوده چند درجه تکرار میشوند. پایداری خروجی نیز در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، در محدوده ۲٪ باقی میماند؛ همچنین، به لطف کنترل چرخه بسته، محدودیتهای حرارتی نیز به خوبی کنترل میشوند.
چرا این روش در کارخانههای تولیدی مؤثر است؟
در کارخانههای تولیدی با تولید حجم زیاد، فرآیند حرارتدهی پلیایمید باید در محدودههای حرارتی مشخصی انجام شود. این لامپها به سرعت به دمای مورد نظر میرسند؛ زمان لازم برای حرارتدهی نیز کمتر میشود. همچنین، میزان مصرف انرژی نیز ۲۵ تا ۳۵ درصد کمتر از روشهای سنتی است. این روش باعث میشود که چرخههای تولید سریعتر انجام شوند، بدون اینکه کنترل کیفیت فرآیند مختل شود؛ همچنین، تعداد نقصهای ناشی از فرآیند حرارتدهی نیز کم میشود.
این سیستم میتواند به راحتی در سیستمهای موجود ادغام شود؛ در نتیجه، منطق کاری کارخانه حفظ میشود و در عین حال دقت حرارتی نیز افزایش مییابد.
جزئیات عملیاتی
نصب این لامپها نیازمند تطبیق آنها با محیط فیزیکی ویفر است؛ در صورت اشتباه در این کار، ممکن است تفاوتهای دمایی در لبههای ویفر ایجاد شود. همچنین، این لامپها در محیطهای تمیز و خشک، و با استفاده از محلولهای کنترلشده، عملکرد بهتری دارند.
برای تنظیم تراکم انرژی و زمان حرارتدهی برای نوع خاص پلیایمید مورد استفاده، نیاز به زمان کوتاهی برای تنظیمات وجود دارد. پس از تنظیم، فرآیند حرارتدهی در محدوده مشخصی انجام میشود؛ این روش قابل تکرار نیز هست.