در فرآیند لیتوگرافی، پروفایل حرارتی در فرآیند پردازش فتوماده، یکی از عواملی است که اصلاً نمیتوان با آن مذاکره کرد. اگر دمای فرآیند پخت نرم تغییر کند، تبخیر حلالها نیز دچار اختلال میشود؛ همچنین، در صورت وجود نقاط داغ در فرآیند پخت سخت، ابعاد حیاتی قطعات تغییر میکنند. هر دو مورد بر روی بازدهی و زمان پخت تأثیر منفی دارند. ما لامپهای مورد استفاده برای پخت فتوماده را طوری طراحی کردهایم که پروفایل حرارتی در تمام مراحل پخت، از شروع تا پایان، ثابت بماند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از منابع تولید نور هالوژنی یا نور مادون قرمز، همراه با سیستم کنترل چرخه بسته، برای حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، استفاده میکنیم. این روش باعث میشود که پروفایل پخت یکنواخت باقی بماند و ضخامت فتوماده و ابعاد حیاتی آن در تمام مراحل پخت، ثابت بماند. همچنین، سازگاری این لامپها با محیطهای پاکسازی در سطح ۱ تا ۱۰۰ نیز در طراحی آنها لحاظ شده است؛ این امر باعث میشود که ذرات مضر وارد فرآیند پخت نشوند.
عدم تولید هیچ ذرهای، یک ویژگی اساسی این لامپهاست؛ این امر به دلیل کیفیت فیلترها و جریان هوای موجود در محفظه، حاصل میشود. این ویژگی حتی در شرایط کار ۲۴/۷ نیز حفظ میشود.
دلیل اینکه این لامپها در فرآیند تولید کارایی خوبی دارند، این است که آنها تولید نور پایداری را در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت فراهم میکنند؛ بنابراین زمان توقف غیرمنتظره کاهش یافته و زمان چرخههای تولید نیز کوتاه میشود. منابع تولید نور با کارایی بالا و پاسخ حرارتی سریع، مصرف انرژی را کاهش میدهند، بدون اینکه دقت فرآیند پخت تحت تأثیر قرار بگیرد.
چه در فرآیند پخت نرم برای تنظیم چسبندگی فتوماده قبل از نوراندازی، و چه در فرآیند پخت سخت برای تثبیت الگوهای مورد نظر قبل از فرآیند حکاکی، همین لامپها میتوانند پروفایل حرارتی یکنواختی را در تمام ویفرها و تجهیزات مختلف فراهم کنند.
چند نکته عملی:
نصب این لامپها بستگی به نوع تجهیزات دارد؛ برای اینکه لامپ با مشخصات محفظه، رابطهای اتصال و سیستم کنترل دما سازگار شود، لازم است یک فهرست بررسیهای لازم را با تیم تجهیزات انجام دهید. لامپها زمانی بهترین عملکرد را دارند که بازتاب نور در محفظه و سیستم سرمایشی، مطابق با استانداردها باشد؛ در غیر این صورت، یکنواختی دمایی کاهش مییابد.
ما جزئیات رابطهای اتصال و روشهای نصب را از قبل ارائه میدهیم؛ تا اولین محموله تولید شده بتواند بدون نیاز به تغییرات، مورد استفاده قرار گیرد.