در سطح ویفر، کانالهای میکروفلوئیدی فضایی برای تغییرات در پروفایل فوتورزیست باقی نمیگذارند. حتی کوچکترین تغییرات دما میتواند باعث تغییر عرض خطوط شود. در روش پختن سخت، ممکن است باقیماندههایی ایجاد شود که بعداً مسیرهای میکروفلوئیدی را مسدود کنند. بنابراین، به چراغی نیاز است که دما را مانند یک پارامتر واقعی در نظر بگیرد، نه صرفاً یک تخمین.
این هم چیزهایی که در پشت صحنه اهمیت دارند:
ما این چراغهای میکروفلوئیدی را با استفاده از منابع نوری SWIR درون غلاف کوارتزی ساختهایم. مزیت این روش، پاسخ سریع و خروجی طیفی پایدار است؛ یکنواختی دما در کل منطقه پختن در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است، بنابراین کنترل ابعاد حیاتی در هر بار تولید امکانپذیر است. این سیستم برای کار در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، نرخ تولید پایدار و زمانهای تولید قابل پیشبینی است. مصرف انرژی نیز به دلیل سرعت بالای رسیدن به دمای مورد نظر و کاهش هدررفت انرژی، کاهش مییابد؛ این امر هزینه تولید هر ویفر را کاهش میدهد.
چند نکته مهم که قبل از استفاده از این چراغها باید در نظر گرفته شود:
نصب این چراغها نیازمند تطبیق اندازه آنها با سطح گرمایشی مربوطه است؛ همچنین باید از سازگاری کانکتورها نیز اطمینان حاصل شود. معمولاً، ولتاژ مورد نیاز برای اتصال این چراغها، ۲۴ ولت DC است. چراغهای SWIR در سطح خود دمای بالایی دارند؛ بنابراین، محافظت حرارتی و سیستمهای کنترلی ضروری هستند. کالیبراسیون این چراغها باید هر ۵٬۰۰۰ ساعت یک بار انجام شود؛ در این بازه زمانی، کاهش خروجی نور کمتر از ۵٪ است؛ اما همچنان نیاز به بررسی دورهای تنظیمات اپتیکی و حسگرها برای حفظ یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد وجود دارد.