در فرآیند اتصال تراشههای فلیپچیپ، به محض اینکه پروفایل حرارتی تغییر کند، این فرآیند دچار اختلال میشود. در صورت وجود نقاط سرد، خلأهایی در لایه زیرین تراشه ایجاد میشود؛ همچنین، اگر دما بیش از حد باشد، نوکهای جوهرساز به طور ناهموار ذوب میشوند. بنابراین، نیاز به حرارتی وجود دارد که به طور منظم و در هر چرخه فرآیند، روی نقاط مورد نظر تأثیر بگذارد.
چه چیزهایی مهم هستند؟
لامپ استفاده شده در فرآیند اتصال تراشههای فلیپچیپ، از امواج مادون قرمز کوتاهبُرد استفاده میکند؛ این امر باعث ایجاد میدان حرارتی با دقت بالا میشود. دقت دما در ناحیه فعال، حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد است. ساختار کوارتز و بازتابندهها به گونهای طراحی شدهاند که خطوط ایزوترمال تکرار شوند. بنابراین، پایداری دما دیگر یک موضوع تخمینی نیست، بلکه چیزی است که میتوان به آن اعتماد کرد.
این لامپ برای استفاده در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، این لامپ میتواند ۲۴ ساعته کار کند و طول عمر آن بیش از ۵۰۰۰ ساعت است. تکرارپذیری خروجی لامپ در طول کل دوره کارکرد، در حد ۲٪ باقی میماند؛ بنابراین، با گذشت زمان، از هدررفت انرژی جلوگیری میشود.
چرا این لامپ در عمل مؤثر است؟
در فرآیند اتصال تراشههای فلیپچیپ، لامپ به سرعت سطح تراشه را به دمای مناسب میرساند و آن را در آن دما نگه میدارد. دقت بالای دما باعث کاهش کارهای تکراری میشود؛ همچنین، پاسخ سریع لامپ به تغییرات دما، زمان لازم برای انجام کار را کاهش میدهد، بدون اینکه به ساختارهای اطراف آسیبی وارد شود. در نتیجه، بازدهی فرآیند بهتر میشود، کنترل خلأها در لایه زیرین تراشه بهتر میشود، و چسبندگی در مراحل پردازش فوتورزیست نیز بهتر خواهد بود.
این امر منجر به کاهش تعداد ویفرهای بیکاربرد، کاهش مصرف انرژی، و ایجاد یک فرآیند قابل پیشبینی میشود.
چه چیزهایی باید مورد توجه قرار گیرند؟
لامپ تنها زمانی به درستی کار میکند که تنظیمات نوری آن دقیق باشد و منحنی جذب نور توسط سطح تراشه نیز مناسب باشد. باید از یک اتصال مناسب برای لامپ استفاده کرد، و مطمئن شد که منبع تغذیه، ولتاژ و جریان لامپ را به درستی کنترل کند.
ما هر سه ماه یکبار، کالیبراسیون لامپ را با استفاده از پیرومتر انجام میدهیم تا قابلیت ردیابی دادهها حفظ شود. همچنین، باید هوا تمیز و خشک باشد؛ رطوبت بالا میتواند بر پاسخ حرارتی کوارتز تأثیر بگذارد، بنابراین باید نقطه رطوبت محلی کنترل شود.