Comment garder votre salle propre de classe 100 vraiment propre
Si vous gérez une salle propre de classe 100, vous connaissez certainement le problème lié à l’émission de gaz. Un seul petit fragment de matière provenant d’un élément chauffant peut détruire vos wafer de semi-conducteurs. C’est frustrant. La plupart des lampes infrarouges standards ne suffisent pas : elles se détériorent sous l’effet de la chaleur et commencent à libérer des particules microscopiques là où on ne veut pas qu’elles soient.
Nous avons trouvé un moyen de résoudre ce problème. Nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté, recouvert d’une couche réfléchissante en or. C’est simple, mais ça fonctionne.
Pourquoi de l’or ?
Ce n’est pas pour l’aspect esthétique. Nous appliquons une fine couche d’or sur l’arrière du quartz, car l’or est extrêmement efficace pour refléter les rayonnements infrarouges – en fait, près de 98 % d’entre eux. Ainsi, au lieu de laisser la chaleur se disperser partout, elle est dirigée vers la cible souhaitée. Cela permet d’économiser de l’énergie, et votre système de climatisation n’a pas besoin de travailler plus dur pour maintenir la pièce fraîche. De plus, vous atteignez plus rapidement la température souhaitée, sans avoir à augmenter excessivement la puissance de la lampe.
Le quartz et le verre
Nous préférons utiliser du quartz de haute pureté, car le verre bon marché se brise facilement. Le quartz, quant à lui, résiste bien aux chocs thermiques. Vous pouvez allumer et éteindre la lampe indéfiniment sans qu’elle ne se casse.
Quant à l’or, nous utilisons une méthode de dépôt sous vide pour le fixer au quartz. Cela permet d’éviter que la couche d’or ne s’écaille ou ne se détache. Sinon, des particules pourraient se retrouver sur les surfaces en silicium… Ce qui est absolument à éviter. Cette méthode garantit que l’or reste bien en place.
Utilisation de ces lampes
Ces lampes peuvent être utilisées directement à la place des lampes traditionnelles utilisées pour le séchage et le traitement des matériaux. Vous pouvez les connecter directement aux contrôleurs existants.
Mais attention : veillez à contrôler la densité thermique générée par ces lampes. Comme la couche d’or dirige presque toute l’énergie vers l’avant, la partie avant de la lampe devient beaucoup plus chaude que celle d’une lampe ordinaire. Assurez-vous donc que vos systèmes de refroidissement sont suffisamment efficaces. Vous ne voulez surtout pas que le heat intense endommage accidentellement des capteurs situés à proximité.