Arrêtez de laisser vos éléments chauffants détruire vos wafers !
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous connaissez certainement ce cauchemar : une seule particule microscopique qui se pose sur un wafer suffit pour que votre rendement chute drastiquement.
Le problème vient généralement des éléments chauffants. La plupart des lampes standards libèrent des gaz ou des particules fines au moment même où il est nécessaire qu’elles restent propres. Nous avons donc décidé de résoudre ce problème en utilisant du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes infrarouges.
Pourquoi le quartz est si important ?
Nous utilisons de la silice fusionnée, avec presque zéro impuretés. Pourquoi ? Parce que cela empêche la lampe de libérer des ions métalliques ou des particules lorsque la température augmente. Pensez au revêtement en quartz comme à un sceau hermétique autour du filament de tungstène. De plus, nous avons abandonné les colles organiques et les céramiques bon marché utilisées dans les systèmes traditionnels. Ainsi, lorsque vous allumez ces lampes en milieu virtuel, vous n’aurez pas à faire face à cette fumée gênante ni à cette déperdition d’énergie. Tout fonctionne simplement.
Chauffez là où c’est vraiment nécessaire
Dans les outils de traitement des wafers, il est essentiel de chauffer rapidement et de maintenir une température uniforme sur toute la surface. Nos lampes infrarouges transmettent l’énergie dans le spectre des ondes courtes. Au lieu de gaspiller du temps à chauffer l’air autour du wafer, la chaleur atteint directement le substrat en silicium. C’est rapide… vraiment rapide. Et cela permet un contrôle précis de la température.
Les pièges à éviter et comment y remédier
La bonne nouvelle, c’est que ces lampes peuvent être remplacées sans avoir à modifier les supports de fixation ou le matériel existant. Mais attention : ces lampes génèrent beaucoup de chaleur. Cela représente une charge importante pour les systèmes de refroidissement. Si le circuit d’eau froide n’est pas suffisamment puissant pour gérer cette puissance, le boîtier de la lampe va surchauffer. Dans ce cas, les filaments brûleront bien avant la durée prévue.
Quelques conseils pour éviter ces problèmes : vérifiez l’alignement du réflecteur tous les 500 heures. Même un léger décalage angulaire peut créer des zones chaudes, ce qui peut détruire tout un lot de wafers. De plus, lors du nettoyage du quartz, utilisez uniquement de l’alcool isopropylique de qualité électronique. Tout autre produit laissera des résidus qui s’incrusteront dans le verre. Une fois cela arrivé, il faudra recommencer tout depuis le début.