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Arrêtez de chauffer les parois de vos équipements (et commencez plutôt à chauffer les wafer eux-mêmes). Avez-vous déjà touché la paroi d’un...

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Comment éviter que vos outils ne deviennent des fours Les lampes infrarouges à haute puissance sont idéales pour obtenir la densité de chaleur...

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Pourquoi les usines de semi-conducteurs abandonnent-elles les grands fours au profit du séchage par rayonnement infrarouge ? Soyons honnêtes : les...

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Sur le plan de production, on permet à la température pendant le séchage du photorésiste de varier de 2°C. Soudainement, les problèmes liés à la...

Sur le site de fabrication, le séchage du photorésistant n’est pas une option : c’est une exigence absolue. Une déviation de ±0,5°C peut avoir des...