Dans les usines de fabrication, on sait comment ça se passe : même une variation de température de 0,2 °C peut entraîner des problèmes dans la qualité de l’impression des circuits imprimés. Dans les ateliers d’assemblage qui fonctionnent 24/7, l’uniformité de la température n’est pas un simple plus ; c’est plutôt une condition essentielle pour garantir une bonne qualité de production.
Ce pour quoi nous concevons ces chauffages
Nous concevons ces chauffages en tenant compte de trois critères fondamentaux : l’uniformité, la propreté et la répétabilité. Dans la zone chauffée, nous maintenons une uniformité de température de ±0,1 °C, afin que chaque wafer – ainsi que chaque support sur lequel il est placé – reçoive le même traitement thermique. Le corps du chauffage est compatible avec des salles propres de classe 1 à 100, et la zone chauffée est conçue pour ne produire aucune particule : pas de dégagement de gaz, pas de peluchage, aucun risque de contamination du photo-résiste ou des surfaces de soudure. Les cycles de chauffage peuvent être reproduits à chaque fois, ce qui permet de maintenir les paramètres critiques dans les limites prévues.
C’est pourquoi c’est important dans le traitement des wafers : une température de chauffage constante permet de maintenir un flux et une adhérence stables du photo-résiste, ce qui réduit les défauts qui apparaissent plus tard lors de la lithographie. En matière d’emballage et d’assemblage, une distribution thermique stable permet de réduire le temps nécessaire pour que les matériaux durcissent, tout en diminuant les retouches nécessaires et les déchets produits. Les avantages sont donc une moins grande variabilité des paramètres, des délais de traitement prévisibles, et moins de gaspillage d’énergie dues à des compensations excessives.
Quelques conseils pratiques
Ces chauffages peuvent être intégrés aux équipements existants, mais il est nécessaire d’adapter la masse thermique et le flux d’air de la chambre de traitement en fonction du processus à effectuer. Il faut également prévoir des circuits électriques adaptés aux normes des salles propres, ainsi que suffisamment d’espace pour permettre des opérations de maintenance. Un rendement optimal est obtenu grâce à des conditions ambiantes stables et à une disposition correcte des capteurs.