במחלקת הליתוגרפיה, תהליך האפייה של הפוליאימיד הוא זה שקובע את הממדים המדויקים של הקווים המתכתיים הדקים. שינוי של 5 מעלות צלזיוס בטמפרטורה יכול לגרום לשינוי בממדים האלה בסדר גודל של ננומטרים – מספיק כדי לפגוע באיכות המוצר. לכן, תיכננו את המנורות שלנו כך שיפחיתו את השינויים האלה.
מה חשוב מבחינה טכנית?
אנו משתמשים במנורות אינפרא-אדום בעלות גל אור קצר, שמותאמות לספיגת הפוליאימיד. התגובה התרמית של המנורות היא מהירה – בתוך שניות – ואנו שומרים על אחידות הטמפרטורה ברמה של ±0.1 מעלות צלזיוס. גוף המנורה מותאם לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100; הוא עשוי מחומרים שאינם פולטים גזים, ועיצובו מונע הצטברות של חלקיקים. כך, מספר הפגמים נשאר נמוך.
תהליכי האפייה של הפוטורזיסט חוזרים על עצמם בטווח של מספר מעלות בלבד, יום אחר יום. היציבות של התהליך נשמרת ברמה של 2% לאורך יותר מ-5,000 שעות, והבקרה התרמית נשמרת באמצעות מעגלי בקרה סגורים.
למה זה עובד במפעלי ייצור?
במפעלי ייצור בעלי קיבולת גבוהה, יש צורך שתהליך האפייה של הפוליאימיד יתבצע בטווח טמפרטורות צר מאוד. המנורות שלנו מגיעות לטמפרטורה הרצויה במהירות, מקצרות את זמן האפייה, ומפחיתות את צריכת האנרגיה ב-25–35% לעומת שיטות אפייה אחרות. כך ניתן לבצע את התהליך במהירות, מבלי לפגוע בשליטה בממדים של המוצר. בנוסף, יש פחות בעיות הקשורות לתהליך האפייה, מה שמפחית את הצורך בעבודה נוספת.
המערכת מתאימה את עצמה למערכות הקיימות, ותורמת לשמירה על הלוגיקה של תהליך הייצור, תוך שהיא מוסיפה דיוק תרמי אמיתי.
הפרטים הטכניים
ההתקנה כוללת התאמה של המנורה לגאומטריה של המכשיר ולרמת הקרינה של הצד האחורי של הוואפר. אם זה לא נעשה כראוי, עלולים להיווצר שינויים בממדים של הוואפר. המנורה גם עובדת בצורה הטובה ביותר עם ואפרים נקיים ויבשים, ובסביבה עם ריכוז מבוקר של חומרים כימיים.
צפו לזמן התאמה קצר כדי להגדיר את עוצמת החשמל ואת זמן האפייה המתאימים לסוג הפוליאימיד הספציפי. לאחר שהכל מוגדר, טווח הטמפרטורות נשאר צר – אך התהליך ניתן לחזרה עליו שוב ושוב.