MEMS वेफरों को बिना किसी समस्या के सूखाना
जब MEMS सेंसर वेफरों को सूखाने की बात आती है, तो इसमें संतुलन बनाए रखना बहुत महत्वपूर्ण है। काम पूरा करने हेतु पर्याप्त ऊष्मा आवश्यक है, लेकिन यह ऊष्मा समान रूप से ही वेफर पर पड़नी चाहिए। यदि वेफर पर थोड़ी भी नमी बच जाए, या ऊष्मा असमान रूप से वेफर पर पड़े, तो सेंसर की सतह क्षतिग्रस्त हो सकती है। यह कोई ऐसी स्थिति नहीं है जिसे कोई भी व्यक्ति चाहेगा।
इसीलिए हम अपने हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं कि वे आवश्यक स्तर पर ही ऊष्मा पैदा करें। हम तापमान को जल्दी से बढ़ाने एवं पूरी सतह पर इसे समान रूप से बनाए रखने पर ध्यान देते हैं।
ऊर्जा का उपयोग
MEMS संरचनाओं को नुकसान पहुँचाए बिना वेफरों को सूखाने हेतु, हम “वॉट-प्रति-वर्ग-इंच” के मापदंडों पर ध्यान देते हैं। उच्च वॉट घनत्व अच्छा है, क्योंकि इससे नमी जल्दी ही दूर हो जाती है।
लेकिन ध्यान रखने योग्य बात यह है कि आपका ऊर्जा स्रोत हीटर के वोल्टेज के साथ अच्छी तरह से काम करना चाहिए। यदि आप कम वोल्टेज वाले हीटर में अधिक धारा प्रवाहित करने की कोशिश करें, तो हीटर जल्दी ही नष्ट हो जाएगा।
स्वच्छता बनाए रखना
सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रिया में, थोड़ी सी भी धूल भी बहुत ही खतरनाक होती है। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज या विशेष सिरेमिक कोटिंगों का उपयोग करते हैं, ताकि कोई भी धूल चैंबर में न जा सके।
हम हीटिंग तत्वों को भी सील कर देते हैं, ताकि ऑक्सीकरण न हो। इससे हजारों बार उपयोग के बाद भी ऊष्मा स्थिर रहती है। चूँकि ये तत्व लगातार सिकुड़ते एवं फैलते रहते हैं, इसलिए हम औद्योगिक-गुणवत्ता वाले कनेक्टरों का उपयोग करते हैं। उत्पादन प्रक्रिया के दौरान तारों में कोई ढीलापन नहीं होना चाहिए।
विकल्प
उच्च-आउटपुट वाले हीटर तो शक्तिशाली होते हैं, लेकिन वे वैक्यूम एवं शीतलन प्रणालियों पर बहुत दबाव डालते हैं।
निश्चित रूप से, अधिक ऊष्मा से प्रक्रिया तेज हो जाती है… लेकिन इससे वेफर के किनारों पर अत्यधिक तापीय तनाव भी पड़ सकता है। इसलिए आपको PID कंट्रोलरों का सावधानीपूर्वक उपयोग करना होगा, ताकि तापमान नियंत्रित रहे।
एक और चेतावनी – यदि आपके कूलिंग फैन इतनी ऊष्मा को संभाल न पाएं, तो आपके नियंत्रण उपकरणों में समस्याएँ आ सकती हैं। इससे बचने हेतु हम आमतौर पर चरणबद्ध तरीके से ही ऊष्मा पैदा करने की सलाह देते हैं… यह थोड़ा धीमा होता है, लेकिन यह अधिक सुरक्षित है।