Dalam proses flip chip bonding, proses pengikatan chip tersebut akan gagal begitu saja bila profil suhu berubah. Jika ada titik dingin, maka akan terbentuk rongga di bagian underfill. Sebaliknya, jika suhu melebihi batas yang ditentukan, maka bagian solder akan meleleh secara tidak merata. Diperlukan panas yang tepat untuk mencapai tujuan yang diinginkan, dari siklus ke siklus.
Apa yang penting dalam proses ini? Lampu pemanas untuk proses flip chip bonding menggunakan sinar inframerah berfrekuensi tinggi, dengan medan termal sebesar sub-milimeter. Hal ini memungkinkan keseragaman suhu hingga ±0,1°C di seluruh area yang diproses. Struktur kuarsa dan reflektor dirancang sedemikian rupa sehingga kontur isoterma tetap konsisten. Dengan demikian, stabilitas suhu menjadi sesuatu yang dapat dipercaya.
Lampu ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, tanpa menghasilkan partikel apa pun. Lampu ini juga dapat beroperasi 24/7, dengan masa pakai lebih dari 5.000 jam. Repeatabilitas outputnya tetap berada dalam kisaran 2% sepanjang masa penggunaan, sehingga tidak ada pemborosan energi seiring bertambahnya usia lampu.
Mengapa lampu ini efektif dalam praktiknya? Dalam proses flip chip bonding, lampu ini membantu memanaskan substrat dengan cepat, lalu menjaga suhunya tetap konstan. Keseragaman suhu yang tinggi mengurangi risiko kerja ulang, sedangkan respons termal yang cepat mempersingkat waktu pemanasan tanpa merusak struktur di sekitarnya. Hasilnya adalah tingkat keberhasilan yang lebih baik pada proses pembuatan bump mikro, kontrol rongga yang lebih baik pada layer underfill, serta adhesi yang konsisten selama proses pengolahan fotoresist—termasuk proses soft bake dan hard bake.
Hal ini berarti jumlah wafer yang rusak berkurang, konsumsi energi per satuan produk berkurang, dan prosesnya dapat dikontrol dengan baik setelah sekali kalibrasi saja.
Apa yang perlu diperhatikan? Lampu akan berfungsi sebagaimana mestinya hanya jika alinemen optiknya sempurna dan kurva penyerapan substratnya sesuai. Pastikan ada antarmuka khusus untuk lampu tersebut, dan pastikan suplai daya mampu mengikuti profil tegangan dan arus lampu.
Kami melakukan kalibrasi berkala setiap tiga bulan menggunakan pyrometer untuk memastikan akurasi pengukuran. Selain itu, pastikan udara di sekitar lampu tetap bersih dan kering—kelembapan tinggi dapat mempengaruhi respons termal kuarsa, jadi kontrollah titik embun di sekitar lampu.