半導体装置における熱の拡散対策 もし、半導体製造装置で高出力のIRエミッタを使用したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。常に余分な熱と戦わなければなりません。 熱を封じ込める手段がないため、熱はどこにでも漏れ出してしまいます。それは大変な問題です。エネルギーが無駄になるだけでなく、装置の...

熱を無駄にしないで：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットも無駄にしてはいけません。もし一般的なアルミニウム製の反射板を使用している場合、実際には思っている以上に多くのエネルギーが失われています。そのエネルギーは金属に吸収されたり、誤った方向に散乱したりして...

なぜ、鉛フリーチップの加工に赤外線加熱を採用するのか 半導体業界は、ようやく古い方式の対流式オーブンから脱却しつつあります。私たちの多くが赤外線加熱に切り替えているのです。これは単に「環境に優しい」とか「鉛フリー」であるという規制に従うためだけではありません。実際には、熱の作用原理が異なるからです...