와퍼에 더 많은 열을 전달하기 위해 (에너지 낭비 없이)
클린룸에서 와퍼를 가열할 때는 모든 에너지가 중요합니다. 가장 골칫거리는, 열이 그냥 사라져버리는 것입니다. 대부분의 경우, 적외선 에너지는 와퍼에 도달하지 못하고 카트의 프레임에 흡수됩니다.
그래서 우리는 금을 사용합니다.
왜 금인가?
알루미늄도 표준 재료이긴 하지만, 그다지 효과적이지 않습니다. 알루미늄은 너무 많은 에너지를 흡수하고 산란시킵니다. 반면 금은 다릅니다. 금은 근적외선을 원래 있어야 할 곳으로 효과적으로 반사할 수 있습니다.
카트의 프레임을 가열하는 데 에너지를 낭비하는 대신, 금 코팅된 반사판을 사용하여 그 열을 정확히 목표 지점으로 보냅니다. 그렇게 하면 훨씬 더 높은 열 흐름을 얻을 수 있으며, 더 많은 전력을 사용할 필요도 없습니다.
열을 효과적으로 전달하기
중요한 것은 형태와 사용되는 재료입니다. 우리는 고강도 적외선 램프와 금 코팅된 포물면형 또는 타원형 반사판을 함께 사용합니다. 마치 스포트라이트처럼, 그 열을 좁은 광선으로 만들어 와퍼가 빠르게 목표 온도에 도달하도록 합니다. 또한, 와퍼 표면의 차가운 부분들을 없애기 위해 특별히 설계되었습니다.
단점
문제는, 열을 너무 집중시키면 반사판의 가장자리가 매우 뜨거워진다는 것입니다. 만약 전력을 너무 높게 설정하려고 하면, 램프의 밀폐 구조가 손상될 수 있습니다. 따라서 전력 밀도와 카트의 공기 흐름 사이에 균형을 찾아야 합니다. 공기 흐름이 제대로 되지 않으면 열이 쌓여 반사판이 비틀어질 수 있고, 그러면 초점이 사라집니다.
간단한 설치 방식
이 제품들은 기존의 장비를 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 그냥 기존의 컨트롤러에 연결하기만 하면 됩니다. 금이 모든 작업을 처리해줍니다. 이 방법을 통해 에너지를 절약하면서도 와퍼에 더 많은 열을 전달할 수 있습니다.