열원이 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 단 하나의 미세한 먼지 입자라도 웨이퍼 위에 떨어지면, 생산 효율이 급격히 떨어집니다.
문제는 대체로 열원에 있습니다. 일반적인 램프들은 가장 깨끗해야 할 순간에 가스를 방출하거나 작은 이물질들을 내놓습니다. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 IR 램프에 고순도의 합성 석영을 사용하기로 결정했습니다.
왜 석영이 중요한가요?
우리는 오염물질이 거의 없는 융합 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 이를 통해 램프가 금속 이온을 방출하거나 뜨거워질 때 먼지를 내보내는 것을 막을 수 있기 때문입니다.
석영 케이스는 텅스텐 필라멘트를 안전하게 보호하는 역할을 합니다. 또한, 일반적인 조립 과정에서 사용되는 유기 접착제나 저품질 세라믹도 사용하지 않습니다. 그래서 진공 상태에서 램프를 처음 켜면, 성가신 연기나 가스가 발생하지 않습니다. 그냥 제대로 작동할 뿐입니다.
원하는 곳에 열을 전달하세요
웨이퍼 처리 시, 빠르게 온도를 높이고 전체 표면의 온도를 일정하게 유지해야 합니다.
우리의 IR 램프는 에너지를 단파장 영역으로 전달합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 데우는 데 시간을 낭비하는 대신, 열이 직접 실리콘 기판으로 전달됩니다. 정말 빠릅니다. 그래서 PID 제어도 훨씬 정확해집니다.
주의해야 할 점과 대처 방법
좋은 소식은 이 램프들이 그대로 교체 가능하다는 것입니다. 마운팅 브라켓이나 하드웨어를 다시 설계할 필요가 없습니다.
하지만 주의해야 할 점은, 이 램프들이 매우 높은 열량을 발생시킨다는 것입니다. 그래서 냉각 시스템에 큰 부담을 줍니다. 만약 냉각 시스템이 충분히 강력하지 않다면, 램프의 하우징이 과열될 수 있습니다. 그렇게 되면 필라멘트가 예상보다 훨씬 빨리 손상됩니다.
문제를 해결하기 위한 몇 가지 팁:
500시간마다 반사판의 위치를 확인해야 합니다. 반사판의 각도가 조금만 변해도 과열이 발생할 수 있으며, 이는 전체 웨이퍼를 망치는 원인이 됩니다.
또한, 석영을 청소할 때는 전자용 이소프로필 알코올만 사용해야 합니다. 다른 용액을 사용하면 유해한 잔여물이 남아서 석영 표면을 손상시킬 수 있습니다.