웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

열원이 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 단 하나의 미세한 먼지 입자라도 웨이퍼 위에 떨어지면, 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 문제는 대체로 열원에 있습니다. 일반적인 램프들은...