Di bilik pengeluaran, proses pembakaran lembut dan keras bukan sekadar langkah termal semata-mata – ia merupakan cara untuk mengawal ketepatan dimensi dan kepadatan kecacatan pada permukaan wafer. Perubahan suhu sebanyak setengah darjah pun boleh menyebabkan perubahan pada dimensi kritikal wafer, manakala kehadiran zarah-zarah tertentu pula boleh merosakkan keseluruhan wafer tersebut. Harga lampu pemanas wafer inframerah bukanlah hanya berkaitan dengan kos pembelian sahaja; ia juga melibatkan faktor seperti kadar pengeluaran, masa operasi yang efisien, serta konsistensi hasil pengeluaran.
Lampu pemanas wafer inframerah kami dibina berdasarkan sumber cahaya NIR berfrekuensi rendah, yang memungkinkan tenaga disalurkan secara langsung ke silikon dan lapisan nipis yang digunakan dalam proses pengeluaran. Kriteria yang perlu dipenuhi adalah konsistensi suhu pada tahap ±0.1°C di seluruh kawasan pembakaran. Sistem kawalan ini menggunakan teknologi berbilang zon dan struktur tanpa kuarsa, sehingga sesuai digunakan di bilik bersih. Dengan cara ini, jumlah zarah yang dihasilkan dapat dikurangkan hingga ke tahap yang sangat rendah. Konsistensi hasil pengeluaran juga dapat dikekalkan walaupun terdapat perubahan pada bahan yang digunakan atau usia lampu itu sendiri.
Dalam proses litografi, proses pembakaran yang konsisten membantu mengawal kelikatan bahan dan proses penyingkiran pelarut. Proses pembakaran yang efektif pula membantu memastikan adhesi yang baik antara lapisan-lapisan yang digunakan. Lampu pemanas kami memastikan suhu yang tepat pada tempat yang diperlukan, sehingga mengurangkan keperluan untuk melakukan pekerjaan ulang atau membuang bahan yang tidak berkualiti. Anda akan mendapat masa proses yang lebih stabil, penggunaan tenaga yang lebih rendah, serta jangka hayat lampu yang lebih panjang. Profil suhu yang stabil pula membantu mengurangkan variasi suhu dan meningkatkan kadar pengeluaran.
Berikut adalah perkara yang perlu diambil kira semasa pemasangan: pastikan geometri bilik pengeluaran, sistem bekalan kuasa, serta batasan EMI/termal sesuai dengan lampu tersebut. Lampu ini mempunyai masa pemanasan yang singkat, jadi anda perlu memastikan bahawa komponen-komponen yang digunakan dapat menyerap haba dengan baik agar tidak terjadi titik panas di tempat tertentu. Anda juga perlu memastikan suhu ekzos dikawal dengan baik. Jadualkan waktu kalibrasi secara berkala agar konsistensi suhu dapat dikekalkan selama ribuan jam.