Mengeringkan Wafer MEMS tanpa masalah
Ketika mengeringkan wafer sensor MEMS, kita perlu mencapai keseimbangan yang tepat. Kita memerlukan haba yang cukup untuk menyelesaikan tugas ini, tetapi haba tersebut harus diedarkan secara merata di seluruh permukaan wafer. Jika masih ada sedikit kelembapan yang tertinggal, atau jika haba tidak diedarkan dengan merata, maka membran sensor akan rosak. Itu merupakan situasi yang sangat buruk dan tiada siapa yang ingin mengalaminya.
Itulah sebabnya kami mencipta Pemanas yang mampu memenuhi spesifikasi yang ketat ini. Kami berusaha untuk meningkatkan suhu dengan cepat, sambil memastikan suhu tersebut kekal stabil di seluruh permukaan wafer.
Mengenai tenaga yang digunakan
Untuk mengeringkan wafer tanpa merosakkan struktur MEMS yang rapuh tersebut, kita perlu memperhatikan jumlah tenaga yang digunakan per inci persegi. Kepekatan tenaga yang tinggi adalah baik, kerana ia dapat menghilangkan kelembapan dengan cepat. Namun, bekalan kuasa perlu sesuai dengan voltan pemanas tersebut. Jika kita cuba menggunakan arus yang terlalu tinggi pada komponen bervoltan rendah, pemanas tersebut akan rosak lebih cepat daripada yang sepatutnya.
Menjaga kebersihan
Dalam kilang semikonduktor, setiap zarah debu merupakan ancaman besar. Kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi atau lapisan seramik khusus agar tiada zarah yang terkeluar ke dalam ruang penghasilan. Kami juga menyegel elemen pemanas untuk mengelakkan oksidasi. Ini memastikan output haba kekal stabil, walaupun selepas ribuan kali proses pengeringan. Memandangkan elemen-elemen ini sentiasa mengembang dan mengecut, kami menggunakan penyambung berkualiti tinggi. Anda tentu tidak mahu kabel menjadi longgar semasa proses penghasilan berlangsung.
Kompromi yang perlu dihadapi
Pemanas berkuasa tinggi memang efektif, tetapi ia memberi tekanan yang besar pada sistem vakum dan penyejukan. Memang benar bahawa peningkatan suhu akan mempercepatkan proses pengeringan, tetapi ia juga boleh menyebabkan tekanan haba yang berlebihan pada bahagian tepi wafer. Anda perlu mengawal suhu dengan teliti menggunakan pengawal PID untuk mengelakkan suhu daripada melampaui had yang ditetapkan.
Peringatan penting: Jika kipas penyejuk tidak mampu menangani haba yang dihasilkan oleh pemanas tersebut, sistem kawalan elektronik akan rosak. Ini merupakan masalah yang menyusahkan dan sukar untuk dikesan. Untuk mengelakkan ini, kami biasanya mencadangkan pendekatan pemanasan secara berperingkat. Walaupun ia memerlukan masa yang lebih lama, namun ia lebih selamat.