Bij 2,5D/3D IC-verpakkingsoplossingen blijft er nauwelijks ruimte over om rekening te houden met thermische afwijkingen. Eén piek in de warmtestraling tijdens het drogen van de onderlaag, het bevestigen van de componenten of het smelten van de microbumps kan ervoor zorgen dat al het harde werk dat maandenlang is verricht, tevergeefs is geweest. We hebben onze heater voor 2,5D/3D IC-verpakkingsoplossingen ontworpen om deze variabelen uit te sluiten.
Wat er belangrijk is onder het oppervlak
Er wordt een thermische uniformiteit van ±0,1°C behaald in het actieve gebied van de wafer. Bovendien is de temperatuurcontrole nauwkeurig genoeg om deze waarde uur na uur vast te houden. Kortegolf-infrarood-elementen zorgen voor een snelle en nauwkeurige reactie, terwijl de door kwarts geïsoleerde verhittingzone het risico op het ontstaan van deeltjes minimaliseert. De oplossing is compatibel met schoonruimtes van klasse 1–100. De oppervlakken en afsluitingen zijn zo gekozen dat er minder deeltjes vrijkomen tijdens langdurige verhittingsprocessen. De controle is gesloten-lusgedreven en kan worden gebruikt voor zowel zachte als harde verhittingsprocessen, evenals voor geavanceerde verpakkingsprocessen.
Waarom het werkt in de productie
Er wordt een consistente verhitting gerealiseerd over de hele wafer en tussen verschillende apparaten. Dit resulteert in een stabiele kwaliteit van de producten, minder defecten en voorspelbare cyclustijden. De heater komt snel op temperatuur en houdt deze vast, waardoor de energieverbruik per batch lager wordt. De betrouwbaarheid van het systeem is gebaseerd op 24/7 gebruik. De componenten zijn ontworpen om lange tijd bij hoge temperaturen te werken. Het onderhoud vindt plaats op vaste tijden, zodat er geen onverwachte stilstanden optreden.
Over integratie
De heater past gemakkelijk in het systeem, maar vereist wel een aparte stroomvoorziening en goede verbindingen voor koelmiddelen of gas. Onjuiste aansluitingen of te kleine leidingen kunnen de prestaties beperken. Plan de mechanische aspecten van tevoren goed: er moet voldoende ruimte zijn tussen de componenten, zodat de luchtcirculatie ongehinderd kan blijven. Zodra alles correct is geplaatst, werkt het systeem als een vast proces, zonder extra variabelen die rekening gehouden moeten worden.