Waarom IR-technologie werkt voor semiconductiestandaarden
Wanneer je in een halfgeleiderfabriek werkt, zijn de risico’s groot. Je moet ervoor zorgen dat de droogings- en hardeningprocedures perfect verlopen: geen resten over, minimale koolstofuitstoot.
De oude manier? Conventionele ovens. Maar eerlijk gezegd: het opwarmen van al die lucht is een verspilling van energie. Bovendien vormt dit een risico voor de zuiverheid van de schone ruimte.
Daarom gebruikten we bij onze gloveboxes infraroodverwarming. In plaats van de lucht op te warmen, gebruikt infraroodstraling om rechtstreeks het materiaal te verhitten. De gassen rondom het materiaal spelen hierbij geen rol.
Het bereiken van ‘groene’ droogingsprocessen
Als je streeft naar leidvrije of ‘groene’ droogingsprocessen, is infraroodverwarming de oplossing. Je hoeft geen chemische oplosmiddelen of brandstoffen te gebruiken die uitstoot veroorzaken.
Het goede nieuws is dat kortgolfrichte en middelgolfrichte infraroodemitters het materiaal echt kunnen binnendringen. Ze zorgen er zo voor dat de harsen met elkaar worden verbonden of dat de oplosmiddelen in seconden worden weggehaald – niet in uren! Dat verandert drastisch de snelheid waarmee het werk wordt uitgevoerd.
De details van de inrichting van de glovebox
Het installeren van deze apparaten in een glovebox is niet zomaar ‘plug and play’. Er is veel precisie nodig. Afhankelijk van hoe snel je de temperatuur wilt verhogen, kiezen we meestal voor kwarts-halogentubes of keramische emitters. Ze leveren veel warmte op in een zeer kleine ruimte.
Er is echter één probleem: je moet de golflengte afstemmen op wat het materiaal daadwerkelijk kan opnemen. Als dit misgaat, wordt de energie gewoon teruggekaatst naar het oppervlak.
We lossen dit op door de coating op de emitter te kalibreren. Hierdoor wordt de golfslag zo gericht dat het materiaal de warmte opneemt, in plaats van de wanden van de glovebox.
De balans die je moet vinden
Hier komt de realiteit: apparaten met hoge intensiteit produceren veel warmte. Ja, dit versnelt de productie, maar het belast ook het koelsysteem van de glovebox enorm. Als de warmtepompen dit niet aankunnen, zal de omgevingstemperatuur stijgen. Dan kunnen er problemen ontstaan met de plastic afsluitingen of kan het alarm af gaan.
Je moet dus een evenwicht vinden tussen de vermogens van de apparaten en het koelsysteem. Alleen op deze manier blijft de omgeving stabiel en hoef je je geen zorgen te maken.