Meer warmte op de wafers krijgen (zonder energie te verspillen)
Wanneer je wafers verhit in transportwagens in een schone ruimte, telt elke beetje energie. Het grootste probleem is dat de warmte gewoon… verdwijnt. Meestal bereikt de infrarode energie de wafel zelfs niet; ze wordt eerst opgenomen door het chassis.
Daarom gebruiken we goud.
Waarom goud?
Aluminium is standaard, maar het is niet optimaal. Het neemt en verspreidt te veel energie. Goud daarentegen werkt zeer efficiënt: het stuurt het nabije infrarode licht rechtstreeks naar waar het naartoe moet. In plaats van energie te besteden aan het verhitten van het frame van de transportwagen – wat helemaal geen nut heeft voor het proces – stuurt de gouden laag de straling rechtstreeks naar het doel. Hierdoor ontstaat er een veel grotere warmtestroom, en hoef je de vermogensnecessiteiten niet te verhogen.
Het bewegen van de warmte
Het gaat hier om de vorm en de materialen die worden gebruikt. We combineren hoge-intensiteitse IR-lampen met goudbeschermde parabolische of elliptische reflectoren. Stel je het voor als een spotlicht: we concentreren de straling in een smalle straal, zodat de wafel sneller de gewenste temperatuur bereikt. Bovendien wordt het apparaat speciaal ontworpen om die storende koude plekken op de wafel te elimineren.
Het nadeel
Het probleem is dat wanneer je de warmte zo sterk concentreert, de randen van de reflector erg heet worden – zelfs extreem heet. Als je probeert de tijd te ‘bedriegen’ door de vermogensniveaus te verhogen, zal dit schade toebrengen aan de lampen. Je moet een balans vinden tussen de vermogensdichtheid en de manier waarop de luchtstroom werkt. Als de luchtstroom niet goed is, kan de warmte zich ophopen, waardoor de reflector kan vervormen. Dan is het focale punt weg.
Eenvoudig in gebruik
We hebben deze apparaten zo ontworpen dat ze direct kunnen worden gebruikt in plaats van de huidige apparaten. Je hoeft ze alleen maar aan te sluiten op je bestaande controllers, zodat het goud het zware werk kan doen. Het is een eenvoudige manier om meer warmte op de siliciumwaafers te brengen, zonder je energieverbruik te verhogen.