Stop met het laten gebeuren dat je verhittings-elementen je wafers beschadigen.
Als je een schone ruimte van klasse 100 hebt, weet je vast al wat voor een nachtmerrie dit kan zijn. Eén enkele microscopische deeltje op een wafer kan al zorgen voor een drastische daling van de productie.
Het probleem ligt meestal bij de verhittings-elementen. De meeste standaardlampen geven gas af of lossen kleine deeltjes af op het moment dat ze juist zo schoon mogelijk moeten zijn. We hebben besloten dit op te lossen door over te stappen op hoogzuiver synthetisch kwarts voor onze IR-lampen.
Waarom kwarts belangrijk is
We gebruiken gesmolten silica met bijna geen onzuiverheden. Waarom? Omdat dit voorkomt dat de lamp metalen ionen loslaat of deeltjes afgeeft wanneer het heet wordt.
Kijk naar het kwarts als een soort ‘hermetisch sluitingselement’ rondom het wolfraamfilament. We hebben ook afstand gedaan van organische lijmsoorten en goedkope keramieken materialen die worden gebruikt in eenvoudige constructies. Hierdoor zie je geen storend ‘rook’ of gasontwikkeling wanneer je de lampen voor het eerst in vacuüm gebruikt. Het werkt gewoon perfect.
Hitte op de plek waar je het nodig hebt
Bij het bewerken van wafer’s moet je snel de temperatuur kunnen verhogen en deze constant houden over de hele oppervlakte. Onze IR-lampen leveren energie af in het kortegolflengtespectrum. In plaats van tijd te verspillen aan het opwarmen van de lucht rondom de wafer, gaat de hitte rechtstreeks naar het siliciumsubstraat. Dat is snel – echt snel. En dat zorgt er weer voor dat de PID-regeling nog nauwkeuriger werkt.
Problemen en hoe je ze kunt oplossen
Het goede nieuws is dat deze lampen gemakkelijk kunnen worden vervangen. Je hoeft geen moeite te doen met het monteren of het opnieuw ontwerpen van de hardware.
Maar er is één probleem: deze lampen genereren veel hitte. Dit legt veel druk op de koelsystemen. Als je koelwatercirculatie niet sterk genoeg is om de maximale vermogensbelasting aan te kunnen, zal de behuizing oververhit raken. Als dat gebeurt, zullen de filaments veel eerder uitbranden dan nodig is.
Hier zijn een paar tips om alles soepel te houden:
Controleer elke 500 uur of de reflector nog goed is gemonteerd. Zelfs een kleine afwijking in de hoek van de spiegel kan leiden tot warmteplekken, en dat kan ervoor zorgen dat een hele batch verpest wordt.
Gebruik ook alleen elektronisch geschikt isopropanol om het kwarts te reinigen. Andere middelen laten residuen achter die op het glas blijven plakken. Zodra dat gebeurt, moet je opnieuw beginnen.