Przestańmy pozwalać elementom grzewczym niszczyć twoje płytki krzemowe
Jeśli pracujesz w pomieszczeniu o czystości klasy 100, doskonale znasz ten koszmar. Jedna tylko mikroskopijna cząsteczka na powierzchni płytki może doprowadzić do spadku efektywności produkcji.
Problemem są zazwyczaj elementy grzewcze. Większość standardowych lamp uwalnia gazy lub małe fragmenty śmieci dokładnie wtedy, gdy potrzebujemy, aby były czyste. Postanowiliśmy to naprawić, używając syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości do naszych lamp IR.
Dlaczego kwarc jest tak ważny?
Używamy krzemu stopionego, który zawiera prawie żadnych zanieczyszczeń. Dlaczego? Ponieważ zapobiega to uwalnianiu jonów metalicznych lub cząsteczek pod wpływem wysokiej temperatury. Można uznać, że osłona z kwarcu stanowi hermetyczną obudowę dla nitki wolframu. Pominęliśmy również organiczne kleje i tanie materiały ceramiczne stosowane w zwykłych lampach. Dzięki temu, gdy lampy zostaną uruchomione w próżni, nie będzie żadnego „dymu” ani uwalniania gazów. Prosto i skutecznie.
Ciepło tam, gdzie jest potrzebne
W urządzeniach do obróbki płytek krzemowych konieczne jest szybkie podnoszenie temperatury oraz jej utrzymanie na stałym poziomie na całej powierzchni płytki. Nasze lampy IR przekazują energię do krótkofalowego spektrum. Zamiast marnować czas na ogrzewanie powietrza wokół płytki, ciepło trafia bezpośrednio do substratu krzemowego. To szybkie – naprawdę szybkie. A to sprawia, że kontrola temperatury staje się dużo bardziej precyzyjna.
Potencjalne problemy i jak je rozwiązać
Dobra wiadomość jest taka, że te lampy mogą zastąpić te istniejące. Nie musisz nic zmieniać w montażu czy konstrukcji urządzenia.
Ale jest jeden problem: te lampy generują dużą ilość ciepła. To stanowi duże obciążenie dla systemów chłodzenia. Jeśli obieg zimnej wody nie jest wystarczająco silny, obudowa lampy może się przegrzać. W takim przypadku nitki wolframu przepalą się znacznie szybciej niż powinny.
Kilka porad, aby wszystko dobrze funkcjonowało:
Sprawdzaj ustawienie reflektora co 500 godzin. Nawet niewielka odchylenie kąta reflektora może powodować powstawanie miejsc o wyższej temperaturze, a to może zniszczyć całą partię płytek.
Ponadto, przy czyszczeniu kwarcu należy używać alkoholu izopropylowego o jakości elektronicznej. Każdy inny środek pozostawia resztki, które przyklejają się do szkła, a wtedy trzeba zacząć od nowa.