Как сохранить чистоту в помещении класса 100
Если вы управляете помещением класса 100, вы наверняка знаете, насколько сложно поддерживать там чистоту. Даже небольшое количество частиц, образующихся из нагревательных элементов, может разрушить вашу полупроводниковую пластину. Это очень раздражает. Большинство стандартных инфракрасных ламп не справляются с этой задачей — они разрушаются под действием высокой температуры и начинают выделять микроскопические частицы именно там, где этого совсем не нужно.
Мы нашли способ этого избежать. Мы используем кварц высокой чистоты и золотое отражающее покрытие. Это просто, но эффективно.
Почему именно золото?
Дело не в красоте. Мы наносим тонкий слой золота на поверхность кварца, потому что золото отлично отражает инфракрасное излучение — примерно 98% от него. Таким образом, тепло направляется строго в нужную сторону. Это позволяет избежать трата энергии, а системе климат-контроля не приходится работать усерднее, чтобы поддерживать прохладу в помещении. Кроме того, температура в помещении достигается гораздо быстрее, без необходимости повышения мощности лампы до опасного уровня.
Что касается грязи и стекла…
Мы продолжаем использовать кварц высокой чистоты, потому что дешевое стекло быстро разрушается. Кварц же может выдерживать значительные нагрузки. Вы можете периодически включать и выключать лампу, и она не будет трескаться из-за термических ударов.
Что касается золотого покрытия, мы используем процедуру вакуумного нанесения, чтобы оно надежно закрепилось на поверхности кварца. Это необходимо, потому что если покрытие ослабеет или отслоится, на поверхности кремния появятся частицы. А этого делать совсем не хочется. Такой метод гарантирует, что золотое покрытие останется на месте.
Как использовать эти лампы
Эти лампы можно использовать вместо обычных ламп для высыхания и обработки материалов. Их можно подключить прямо к существующим контроллерам. Но есть один нюанс: необходимо следить за интенсивностью тепла. Поскольку золотое покрытие направляет почти всю энергию вперед, передняя часть лампы становится гораздо более горячей, чем у обычной лампы. Убедитесь, что защитные элементы и вентиляторы способны справиться с такой нагрузкой. Нельзя допустить, чтобы концентрированный поток тепла повредил соседние датчики.