Сокращение выбросов углерода на производстве: почему использование инфракрасных ламп без озона — это разумное решение
Если вы хотите добиться углеродной нейтральности на производстве полупроводников, необходимо учитывать все факторы, приводящие к трате энергии. Одним из главных виновников является способ нагрева оборудования.
Большинство инфракрасных ламп с короткой длиной волны имеют свойство излучать световые волны с длиной менее 200 нм. Это приводит к превращению кислорода в воздухе в озон. В чистой комнате озон представляет собой серьезную проблему — он является загрязнителем. Поэтому приходится тратить много энергии на системы климат-контроля и очистки воздуха, чтобы устранить последствия действия ламп.
Это порочный круг траты энергии. Мы нашли более эффективное решение.
Секрет заключается в фильтрах.
Мы используем специальные кварцевые оболочки и внутренние покрытия для блокировки видов излучения с длиной волны менее 200 нм. Таким образом, лампа обеспечивает необходимый уровень тепла без образования озона.
Это простое решение, но его последствия огромны. Системам фильтрации воздуха больше не нужно работать так интенсивно. Когда система вентиляции перестает потреблять большое количество энергии, углеродный след завода сокращается.
Быстрый нагрев без лишних затрат.
Не нужно жертвовать скоростью нагрева. Эти лампы все равно обеспечивают необходимый уровень тепла для быстрого нагрева, что крайне важно для обработки пластин. К тому же они можно использовать в качестве замены существующим лампам, так что нет необходимости перестраивать всю систему.
Однако стоит обратить внимание на плотность энергии, выделяемой лампами. Эти лампы быстро накапливают тепло. Если корпус оборудования не рассчитан на такой рост температуры, это может привести к повреждению оборудования. Обязательно проверьте, что вентиляторы рассчитаны на конкретную мощность ламп перед их включением.
Превращаем концепцию «зеленого производства» в реальность.
Используя технологии без озона, можно избавиться от необходимости постоянного контроля уровня озона и сложных систем вентиляции. Это сокращает энергопотребление и делает производство более эффективным.
Получение сертификата «зеленого производства» обычно требует множества формальностей и мелких корректировок. Но здесь все иначе. Речь идет о предотвращении выбросов с самого источника, а не о трате энергии на устранение проблем, которых можно было избежать.